Grafitni čoln za PECVD

Aplikacija: Veteksemicon grafitni čoln za PECVD je ključna komponenta v procesu kemičnega naparjevanja, izboljšanega s plazmo. Zasnovan je posebej za nanašanje visokokakovostnega silicijevega nitrida, silicijevega oksida in drugih tankih filmov na silicijeve rezine, sestavljene polprevodnike in podlage zaslonskih plošč. Njegova zmogljivost neposredno določa enotnost filma, stabilnost procesa in proizvodne stroške.

Storitve, ki jih je mogoče zagotoviti: analiza scenarijev aplikacij strank, ujemanje materialov, reševanje tehničnih problemov.

Profil podjetja：Veteksemicon ima 2 laboratorija, ekipo strokovnjakov z 20-letnimi materialnimi izkušnjami, z zmogljivostmi raziskav in razvoja ter proizvodnje, testiranja in preverjanja.

Splošne informacije o izdelku

Poslovni pogoji izdelkov

Glavna področja uporabe

Grafitni čoln Veteksemicon za glavne prednosti PECVD

1. Substrati visoke čistosti, ki nadzorujejo onesnaženje iz vira

Vztrajamo pri uporabi izostatično stisnjenega grafita visoke čistosti s stabilno čistostjo nad 99,995 % kot osnovnega materiala, da zagotovimo, da ne bo obarjal kovinskih nečistoč niti v neprekinjenem delovnem okolju 1600 °C. Ta stroga zahteva glede materiala lahko neposredno prepreči poslabšanje delovanja rezin, ki ga povzroči kontaminacija nosilca, in zagotavlja najbolj temeljno jamstvo za nanašanje visokokakovostnih filmov iz silicijevega nitrida ali silicijevega oksida.

2. Natančno toplotno polje in strukturna zasnova za zagotovitev enotnosti procesa

Z obsežno simulacijo tekočin in podatki o meritvah procesa smo optimizirali kot utora čolna, globino vodilnega utora in pot pretoka plina. Ta natančen strukturni premislek omogoča enakomerno porazdelitev reaktivnih plinov med rezinami. Dejanske meritve kažejo, da je pri polni obremenitvi mogoče enakomerno odstopanje debeline filma med rezinami v isti seriji stabilno nadzorovati v okviru ±1,5 %, kar bistveno izboljša izkoristek izdelka.

3. Prilagojene rešitve premazov za obravnavo specifične procesne korozije

Za doseganje različnih okolij procesnih plinov različnih strank ponujamo dve zreli možnosti premaza: pirolitični ogljik in silicijev karbid. Če v glavnem nanašate silicijev nitrid in uporabljate čiščenje z vodikom, lahko gosta pirolitična prevleka iz ogljika zagotavlja odlično odpornost na erozijo vodikove plazme. Če vaš proces vključuje čistilne pline, ki vsebujejo fluor, je boljša izbira prevleka iz silicijevega karbida visoke trdote. Lahko podaljša življenjsko dobo grafitnega čolna v visoko korozivnih okoljih za več kot trikrat večjo življenjsko dobo običajnih izdelkov brez premaza.

4. Odlična stabilnost na termični šok, prilagodljiva pogostim temperaturnim ciklom

Zahvaljujoč naši edinstveni grafitni formuli in oblikovanju notranjih ojačitvenih reber lahko naši grafitni čolni prenesejo ponavljajoče se hitre hladilne in toplotne šoke postopka PECVD. V strogih laboratorijskih testih je po 500 hitrih toplotnih ciklih od sobne temperature do 800 °C stopnja zadrževanja upogibne trdnosti čolna še vedno presegla 90 %, s čimer se je učinkovito izognilo razpokam, ki jih povzroča toplotna obremenitev, ter zagotovila kontinuiteto in varnost proizvodnje.

5. Potrditev preverjanja ekološke verige

Grafitni čoln Veteksemicon za preverjanje ekološke verige PECVD zajema surovine do proizvodnje, opravil je certificiranje mednarodnih standardov in ima številne patentirane tehnologije, ki zagotavljajo njegovo zanesljivost in trajnost na področjih polprevodnikov in nove energije.

Za podrobne tehnične specifikacije, bele knjige ali dogovore o testiranju vzorcev se obrnite na našo ekipo za tehnično podporo, da raziščete, kako lahko Veteksemicon poveča učinkovitost vašega procesa.