Postopek jedkanja ICP/PSS

VeTek Semiconductor ICPPSS (induktivno sklopljeno plazemsko fotorezist stripping) Nosilec rezin za jedkanje v procesu jedkanja je posebej zasnovan za izpolnjevanje zahtevnih zahtev postopkov jedkanja v industriji polprevodnikov. S svojimi naprednimi funkcijami zagotavlja optimalno zmogljivost, učinkovitost in zanesljivost v celotnem procesu jedkanja.

Prednost VeTek Semiconductor ICP/PSS Etching Process Susveptorjev:

Izboljšana kemična združljivost: Nosilec rezin je izdelan z uporabo materialov, ki izkazujejo odlično kemično združljivost s kemijo postopka jedkanja. To zagotavlja združljivost s široko paleto jedkalcev, odstranjevalcev odpornosti in čistilnih raztopin, kar zmanjšuje tveganje kemičnih reakcij ali kontaminacije.

Odpornost na visoke temperature: Nosilec rezin je zasnovan tako, da prenese visoke temperature, do katerih pride med postopkom jedkanja. Ohranja svojo strukturno celovitost in mehansko trdnost ter preprečuje deformacije ali poškodbe tudi v ekstremnih temperaturnih pogojih.

Vrhunska enakomernost jedkanja: nosilec ima natančno zasnovano zasnovo, ki spodbuja enakomerno porazdelitev jedkanja in plinov po površini rezin. Posledica tega so dosledne stopnje jedkanja in visokokakovostni enotni vzorci, ki so bistveni za doseganje natančnih in zanesljivih rezultatov jedkanja.

Odlična stabilnost rezin: nosilec vključuje varen mehanizem za držanje rezin, ki zagotavlja stabilno pozicioniranje in preprečuje premikanje ali zdrs rezin med postopkom jedkanja. To zagotavlja natančne in ponovljive vzorce jedkanja, kar zmanjšuje napake in izgube izkoristka.

Združljivost s čistimi prostori: nosilec rezin je zasnovan tako, da ustreza strogim standardom čistih prostorov. Odlikuje ga nizko nastajanje delcev in odlična čistoča, kar preprečuje kakršno koli kontaminacijo z delci, ki bi lahko ogrozila kakovost in izkoristek postopka jedkanja. Nečistoče so pod 5 ppm.

Robustna in trpežna konstrukcija: nosilec je izdelan iz visokokakovostnih materialov, ki so znani po svoji vzdržljivosti in dolgi življenjski dobi. Prenese lahko večkratno uporabo in stroge postopke čiščenja, ne da bi pri tem ogrozili njegovo delovanje ali strukturno celovitost.

Prilagodljiv dizajn: Ponujamo prilagodljive možnosti za izpolnjevanje posebnih zahtev strank. Nosilec je mogoče prilagoditi za različne velikosti rezin, debeline in specifikacije postopka, kar zagotavlja združljivost z različno opremo in postopki za jedkanje.

Izkusite zanesljivost in zmogljivost našega nosilca rezin za proces jedkanja ICP/PSS, zasnovanega za optimizacijo postopka jedkanja v industriji polprevodnikov. Zaradi njegove izboljšane kemične združljivosti, odpornosti na visoke temperature, vrhunske enakomernosti jedkanja, odlične stabilnosti rezin, združljivosti s čistimi prostori, robustne konstrukcije in prilagodljive zasnove je idealna izbira za vaše aplikacije jedkanja.

Plošča za jedkanje PSS ICP plošča za jedkanje ICP Etching Susceptor