Silicijev nitrid

1. Odlična kemična stabilnost

Keramika silicijevega nitrida ima odlično kemično stabilnost in lahko zdrži različne močne kisline, alkalije in jedke pline. V procesu proizvodnje polprevodnikov se pogosto mora spoprijeti s korozivnimi kemikalijami, silicijeva keramika nitrida lahko zagotovi dolgoročno stabilno jamstvo za stabilno zmogljivost.

2. Odlične mehanske lastnosti

Keramika silicijevega nitrida ima visoko trdoto, odlično tlačno trdnost in odpornost na obrabo, ki lahko prenese mehanski stres in površinsko obrabo, ni enostavno deformacija ali ruptura. Ta mehanska lastnost je zelo primerna kot material za konstrukcijske in procesne dele v polprevodniški opremi.

3. Stabilnost visokotemperature

Keramika iz silicijevega nitrida lahko ohrani stabilnost v visokotemperaturnih okoljih, ni enostavno mehčati ali taliti in zdrži visokotemperaturno predelavo in ravnanje v procesu izdelave polprevodnikov. To omogoča, da se uporablja pri izdelavi ključnih komponent opreme za procesno opremo visokotemperature, kot so prijemalci, komponente reakcijske komore in tako naprej.

4. Odlične izolacijske lastnosti

Izolacijske lastnosti so kritične pri proizvodnji polprevodniških naprav. Keramika iz silicijevega nitrida ima dobre izolacijske lastnosti, ki lahko učinkovito izolirajo in zaščitijo komponente vezja pred uhajanjem toka ali elektromagnetnih motenj, kar pomaga izboljšati stabilnost in zanesljivost naprave.

5. toplotna prevodnost in toplotna prevodnost

Keramika silicijevega nitrida ima visoko toplotno prevodnost, lahko učinkovito izvaja in razprši toploto, ki jo ustvarja naprava, kar pomaga ohranjati temperaturno stabilnost naprave v delovnem procesu. To je ključnega pomena za visokozmogljivo delovanje polprevodniških naprav.

1. Elektrostatični sestavni deli komore in jedkanice

Keramika silicijevega nitrida se pogosto uporablja kot materiali za elektrostatične sestavne dele in komponente jedkanja v proizvodnji polprevodnikov zaradi odlične kemijske stabilnosti in visoke temperaturne odpornosti. Elektrostatični chucks se uporabljajo za pritrditev in stabilizacijo rezin ali substratov, medtem ko se komponente jedkanice uporabljajo za zdržanje korozivnih plinov in visokotemperaturnih okolij.

2. plošče za distribucijo plina in reflektorji

Keramika silicijevega nitrida se uporablja tudi pri proizvodnji polprevodniške opreme v ploščah za distribucijo plina in reflektorjev. Plošče za porazdelitev plina se uporabljajo za enakomerno porazdelitev reaktivnih ali zaščitnih plinov v reakcijsko komoro, medtem ko se reflektorji uporabljajo za optimizacijo porazdelitve in odboja svetlobe znotraj reakcijske komore za izboljšanje učinkovitosti reakcije in enakomernosti.

3. Držala in toplotne komponente

Keramika silicijevega nitrida se pogosto uporablja kot držala in komponente toplotnega upravljanja v opremi za proizvodnjo polprevodnikov. Te komponente morajo imeti dobro mehansko trdnost, odpornost na obrabo in toplotno prevodnost, da se zagotovi stabilno delovanje opreme in natančnost obdelave naprav.

4. Kemične mehanske poliranje (CMP)

Keramika iz silicijevega nitrida se široko uporablja kot material PAD v procesu kemijskega mehanskega poliranja (CMP). Ima odlično ploščo in odpornost proti obrabi in lahko med postopkom poliranja zagotovi stabilno podporo, da zagotovi raven in natančnost površine polprevodniških rezin.