Izdelki

Prevleka iz tantalovega karbida

VeTek Semiconductor je vodilni proizvajalec materialov za prevleko iz tantalovega karbida za industrijo polprevodnikov. Naša glavna ponudba izdelkov vključuje dele s prevleko iz tantalovega karbida CVD, dele s sintrano prevleko TaC za rast kristalov SiC ali postopek epitaksije polprevodnikov. VeTek Semiconductor, ki je opravil ISO9001, ima dober nadzor nad kakovostjo. VeTek Semiconductor je namenjen postati inovator v industriji prevlek iz tantalovega karbida s stalnimi raziskavami in razvojem ponavljajočih se tehnologij.


Glavni proizvodi soVodilni obroč s prevleko iz TaC, Vodilni obroč s tremi lističi, prevlečen s CVD TaC, Polmesec s prevleko iz tantalovega karbida TaC, Planetarni SiC epitaksialni suceptor s prevleko CVD TaC, Obroč s prevleko iz tantalovega karbida, Porozni grafit, prevlečen s tantalovim karbidom, TaC Coating Rotation Susceptor, Prstan iz tantalovega karbida, Rotacijska plošča s premazom TaC, TaC prevlečen suceptor za rezine, Deflektorski obroč s prevleko iz TaC, CVD TaC prevleka, TaC prevlečena vpenjalna glavaitd., čistost je pod 5 ppm, lahko izpolnjuje zahteve kupcev.


TaC prevlečni grafit je ustvarjen s prevleko površine grafitnega substrata visoke čistosti s fino plastjo tantalovega karbida z lastniškim postopkom kemičnega naparjevanja (CVD). Prednost je prikazana na spodnji sliki:


Excellent properties of TaC coating graphite


Prevleka iz tantalovega karbida (TaC) je pritegnila pozornost zaradi visokega tališča do 3880 °C, odlične mehanske trdnosti, trdote in odpornosti na toplotne šoke, zaradi česar je privlačna alternativa za sestavljene postopke epitaksije polprevodnikov z višjimi temperaturnimi zahtevami, kot sta sistem Aixtron MOCVD in postopek epitaksije SiC LPE. Ima tudi široko uporabo v procesu rasti kristalov SiC metode PVT.


Ključne značilnosti:

 ●Temperaturna stabilnost

 ●Ultra visoka čistost

 ●Odpornost na H2, NH3, SiH4,Si

 ●Odpornost na toplotno zalogo

 ●Močan oprijem na grafit

 ●Konformna prevleka

 Velikost do premera 750 mm (Edini proizvajalec na Kitajskem dosega to velikost)


Aplikacije:

 ●Nosilec rezin

 ● Induktivni grelni sprejemnik

 ● Uporovni grelni element

 ●Satelitski disk

 ●Tuš glava

 ●Vodilni obroč

 ●LED Epi sprejemnik

 ●Šoba za vbrizgavanje

 ●Maskirni prstan

 ● Toplotni ščit


Prevleka tantalovega karbida (TaC) na mikroskopskem prerezu:


the microscopic cross-section of Tantalum carbide (TaC) coating


Parameter prevleke iz tantalovega karbida VeTek Semiconductor:

Fizikalne lastnosti TaC prevleke
Gostota 14,3 (g/cm³)
Specifična emisijska sposobnost 0.3
Koeficient toplotnega raztezanja 6,3 10-6/K
Trdota (HK) 2000 HK
Odpornost 1×10-5Ohm*cm
Toplotna stabilnost <2500 ℃
Spremembe velikosti grafita -10~-20um
Debelina nanosa Tipična vrednost ≥20um (35um±10um)


Podatki EDX o prevleki TaC

EDX data of TaC coating


Podatki o kristalni strukturi prevleke TaC:

Element Atomski odstotek
Pt. 1 Pt. 2 Pt. 3 Povprečje
C K 52.10 57.41 52.37 53.96
M 47.90 42.59 47.63 46.04


View as  
 
Tac prevlečen obroč za rast Pvt SIC Single Crystal

Tac prevlečen obroč za rast Pvt SIC Single Crystal

Kot eden vodilnih dobaviteljev izdelkov TAC na Kitajskem, je Vetek Semiconductor lahko strankam omogočil kakovostne prilagojene dele TAC prevleke. TAC prevlečen prstan za rast Pvt Enojnega kristala SIC je eden izmed najbolj izjemnih in zrelih izdelkov Vetek Semiconductor. Ima pomembno vlogo pri rasti PVT procesa kristala SIC in lahko strankam pomaga pri rasti visokokakovostnih kristalov SIC. Veselimo se vašega povpraševanja.
CVD TAC prevlečen s tremi petalnimi vodniki

CVD TAC prevlečen s tremi petalnimi vodniki

Vetek Semiconductor je doživel dolgoletno tehnološki razvoj in obvladal vodilno procesno tehnologijo CVD TAC prevleke. CVD TAC, prevlečen s tremi petalnimi vodilnimi obročki, je eden najbolj zrelih izdelkov TAC za CVD Semiconductor Vetek in je pomemben sestavni del za pripravo kristalov SIC po Pvt metodi. S pomočjo Vetek Semiconductor verjamem, da bo vaša proizvodnja kristala SIC bolj gladka in učinkovitejša.
Obroč za prevleko za karbide Tantalum

Obroč za prevleko za karbide Tantalum

Vetek Semiconductor Tantalum karbidni obroč je nepogrešljiv sestavni del v industriji polprevodnikov, zlasti pri jedcu sic rezin. Njegova kombinacija grafitne baze in prevleke TAC zagotavlja vrhunske zmogljivosti v visokotemperaturnih in kemično agresivnih okoljih. Z izboljšano toplotno stabilnostjo, korozijsko odpornostjo in mehansko trdnostjo, obroč s karbidom Tantalum pomaga, da polprevodniški proizvajalci dosežejo natančnost, zanesljivost in kakovostne rezultate v svojih proizvodnih procesih.
Obroč za prevleko TAC

Obroč za prevleko TAC

Obroč za prevleko TAC je visokozmogljiva komponenta, zasnovana za uporabo v polprevodniških procesih, obroč za prevleko za polprevodniški prevleka Vetek ima visoko toplotno stabilnost, odpornost na kemično korozijo in odlično mehansko trdnost in se posebej uporablja za držanje in podporo SIC redi med postopkom jedkanja, kjer sta natančen nadzor in trajnost bistvena za doseganje kakovostnih rezin. Veselimo se vašega nadaljnjega posvetovanja.
TAC prevleka za prevleko

TAC prevleka za prevleko

Kot profesionalni dobavitelj in proizvajalec lončkov TAC prevleke na Kitajskem ima Vetek Semiconductor's TAC prevleka Crucible neobvladljivo vlogo v procesu posameznih kristalnih rasti polprevodnikov z njegovo odlično toplotno prevodnostjo, izjemno kemijsko stabilnostjo in večjo odpornostjo na korozijo. Dobrodošli v nadaljnjih poizvedbah.
Vodilni obroč, prevlečen s tantalovim karbidom

Vodilni obroč, prevlečen s tantalovim karbidom

Kot kitajski vodilni dobavitelj in proizvajalec vodnikov za prevleke TAC, je Vodnik, prevlečen z prevleko, prevlečen z prevleko za karbide Tantalum Tantalum, pomemben sestavni del, ki se uporablja za vodenje in optimizacijo pretoka reaktivnih plinov v metodi PVT (fizični transport). Spodbuja enakomerno odlaganje enojnih kristalov SIC v rastnem območju s prilagajanjem porazdelitve in hitrosti pretoka plina. Vetek Semiconductor je vodilni proizvajalec in dobavitelj vodnikov TAC prevleke na Kitajskem in celo na svetu, veselimo pa se vašega posvetovanja.
Kot profesionalec Prevleka iz tantalovega karbida proizvajalec in dobavitelj na Kitajskem imamo svojo tovarno. Ne glede na to, ali potrebujete prilagojene storitve, da zadovoljijo posebne potrebe vaše regije ali želite kupiti napredne in trajne Prevleka iz tantalovega karbida, narejene na Kitajskem, nam lahko pustite sporočilo.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept