VeTek Semiconductor zagotavlja poseben grafit, kot je silikoniziran grafit, pirolitični ogljik, porozni grafit, prevleka iz steklastega ogljika, grafitna plošča visoke čistosti in izostatični grafit visoke čistosti, je več vrst posebnih grafitnih materialov, ki imajo skupne lastnosti in aplikacije. Tukaj je kratek uvod v njihove funkcije in aplikacije:
● Silikoniziran grafit: Silikoniziran grafit je poseben grafitni material, ki nastane s kombiniranjem grafita s silicijevimi spojinami. Ima odlično odpornost na visoke temperature, odpornost proti koroziji in mehanske lastnosti. Silikonizirani grafit se pogosto uporablja v visokotemperaturnih pečeh, opremi, odporni proti koroziji, in proizvodnji polprevodnikov.
● Pirolitični ogljik: Pirolitični ogljik je ogljikov material, pridobljen z visokotemperaturno pirolizo organskih snovi, kot sta premog in naftni koks. Ponaša se z visoko čistostjo, gostoto, trdnostjo in nizko električno prevodnostjo. Pirolitični ogljik najde široko uporabo kot visokotemperaturni materiali in strukturne komponente v polprevodnikih, kemični opremi, letalstvu in na drugih področjih.
● Porozni grafit: Porozni grafit je poseben grafitni material z mikro in mezoporozno strukturo. Ima veliko specifično površino in poroznost, ki nudi odlične lastnosti adsorpcije in toplotne prevodnosti. Porozni grafit se običajno uporablja pri ločevanju plinov, rasti kristalov SiC in drugih aplikacijah.
● Prevleka iz steklastega ogljika: Prevleka iz steklastega ogljika se nanaša na tehniko nanašanja materiala iz steklastega ogljika kot površinskega premaza. Izkazuje izjemno odpornost proti koroziji, odpornost proti obrabi in električno prevodnost. Prevleke iz steklastega ogljika se pogosto uporabljajo v premazi, odpornih proti koroziji, materialu za prevleko za E-Beam Gun in na drugih področjih polprevodnikov.
● Izostatični grafit visoke čistosti: Izostatični grafit visoke čistosti je poseben grafitni material visoke čistosti, pripravljen s postopkom izostatičnega stiskanja pri visoki temperaturi. Odlikuje ga enotna mikrostruktura, visoka gostota in nizka vsebnost kisika. Izostatični grafit visoke čistosti se v veliki meri uporablja pri precizni obdelavi, materialih za odvajanje toplote, proizvodnji polprevodnikov, fotovoltaiki, vesoljski industriji in drugih industrijah.
Grafitni papir visoke čistosti je specializiran material, ki se uporablja v industriji polprevodnikov. S svojo izjemno toplotno in električno prevodnostjo igra ključno vlogo pri aplikacijah, kot so odvodi toplote, materiali za toplotne vmesnike in električna izolacija. Zaradi lahke in prilagodljive narave grafitnega papirja visoke čistosti je idealen za izboljšanje toplotnega upravljanja in optimizacijo delovanja polprevodniških naprav. Njegova visoka čistost (nečistoče pod 5 ppm) zagotavlja zanesljivo in učinkovito delovanje, zaradi česar je dragocena komponenta pri proizvodnji in sestavljanju polprevodnikov.
Ti posebni grafitni materiali ponujajo edinstvene lastnosti in prednosti uporabe na svojih področjih. Imajo ključno vlogo v visokotemperaturnih okoljih, odpornosti proti koroziji, elektroniki, energetiki, kemijskem inženiringu, vesoljski in polprevodniški industriji ter zagotavljajo bistveno podporo za napredek in inovacije v teh sektorjih.
Ključne značilnosti
● Možnosti ultra visoke čistosti s stopnjami nečistoč pod 5 ppm za kritične polprevodniške procese.
● Odlična visokotemperaturna stabilnost in odpornost na toplotni udar, primerna za PVT SiC kristalno rast in vakuumske peči.
● Različne materialne oblike: izostatični grafit, porozni grafit, silikoniziran grafit, prevleka PyC, prevleka iz steklenega ogljika in fleksibilne grafitne plošče.
● Vrhunska odpornost proti koroziji, odpornost proti obrabi in nadzorovana poroznost za upravljanje plina in uporabo na termičnem polju.
● Zmožnost interne strojne obdelave in premazovanja (SiC/TaC/PyC), ki omogoča rešitve po meri na enem mestu.
● Združljivo z glavnimi platformami za polprevodnike in opremo za rast kristalov.
Specifikacije izdelka
| Parameter premaza s pirolitičnim ogljikom (PyC). |
| Postavka |
Enota |
vrednost |
| Kristalna struktura |
-
|
Šesterokotna |
| Poravnava |
-
|
Orientiran ali neorientiran vzdolž smeri 001 |
| Nasipna gostota |
g/cm³ |
~2,24 |
| Mikrostruktura |
-
|
Polikristalni/večslojni grafen |
| Trdota |
GPa |
1.1
|
| Modul elastičnosti |
GPa |
10
|
| Tipična debelina |
μm |
30-100 |
| Površinska hrapavost |
μm |
1.5
|
| Čistost izdelka |
ppm |
≤5 ppm |
Aplikacije
Za izpolnitev različnih potreb polprevodnikov in visokotemperaturnih procesov VeTek ponuja ciljno usmerjene izdelke Special Graphite. Naslednja tabela jih razvršča po glavnih področjih uporabe, navaja tipične materiale/komponente in uporabne postopke:
| Polje uporabe |
Tipični materiali/izdelki |
Opis aplikacije |
| Rast kristalov SiC (PVT) |
Porozni grafit, PyC prevlečen grafitni prstan, izostatični grafitni lonček, vodilni obroč
|
Uporablja se v termičnih poljih rasti kristalov PVT SiC; zagotavlja nadzorovan transport hlapov, visoko čistost in toplotno stabilnost do >2200 °C, kar zmanjšuje kontaminacijo z delci. |
| Polprevodniška epitaksija / MOCVD |
grelci, PyC / deli, prevlečeni s steklenim ogljikom
|
Komponente toplotnega polja visoke čistosti za sisteme epitaksije Si/SiC/GaN in MOCVD; odlična temperaturna enotnost in kemična inertnost. |
| Visokotemperaturne peči in vakuum |
Grafitni grelci, Grafitni lonček s tremi cvetnimi listi
|
Odporni proti koroziji in toplotno stabilni materiali za vakuumske peči, grelnike z vročimi conami in opremo za visokotemperaturno obdelavo. |
| Toplotno upravljanje |
Grafitna klobučevina visoke čistosti, Grafitni papir
|
Fleksibilne plošče z visoko toplotno/električno prevodnostjo za hladilna telesa, materiale za toplotne vmesnike in električno izolacijo v polprevodniških napravah (nečistoče <5 ppm). |
| Zaščita pred korozijo/obrabo |
Prevleka iz steklenega ogljika, silikoniziran grafit |
Površinski premazi in materiali v razsutem stanju nudijo izjemno odpornost proti koroziji, odpornost proti obrabi in električno prevodnost za pištole E-žarek in težka okolja. |
| Ločevanje in adsorpcija plinov |
Porozni grafit
|
Mikro/mezoporozna struktura z veliko specifično površino za uporabo pri ločevanju plinov, filtraciji in kontrolirani atmosferi. |
Za podrobnejše rešitve za ujemanje izdelkov in postopkov si oglejte povezane strani podkategorije:Porozni grafit, Izotropni grafit, Pirolitični karbonski premazitd.
Kot profesionalni proizvajalec in dobavitelj posebnega grafita na Kitajskem imamo svojo tovarno. Ne glede na to, ali potrebujete prilagojene storitve za izpolnjevanje posebnih potreb vaše regije ali želite kupiti napreden in trpežen specialni grafit, izdelan na Kitajskem, lahkopustite nam sporočilo.
