Izdelki

Trden silicijev karbid

Vetek polprevodniški trdni silicijev karbid je pomembna keramična komponenta v opremi za jedkanje v plazmi, trden silicijev karbid (CVD silicijev karbide) Deli v opremi jedkanice vključujejoosredotočene prstane, plinska prha, pladnja, robne obroče itd. Zaradi nizke reaktivnosti in prevodnosti trdnega silicijevega karbida (silicijevega karbida CVD) do plinov, ki vsebujejo fluor, in je idealen material za fokusiranje obročev in drugih sestavkov v plazmi.


Na primer, fokusni obroč je pomemben del, nameščen zunaj rezine in v neposrednem stiku z rezino, tako da na obroč uporabite napetost, da se fokusira plazma, ki gre skozi obroč, s čimer se usmeri plazmo na rezino za izboljšanje enakomernosti obdelave. Tradicionalni fokusni obroč je narejen iz silicija ozkremen, prevodni silicij kot pogost material fokusnega obroča, je skoraj blizu prevodnosti silicijevih rezin, vendar je pomanjkanje slabe odpornosti na jedkanje v plazmi, ki vsebujejo fluor, materiali za jedkanico, ki se pogosto uporabljajo za nekaj časa, resno zmanjšuje njegovo proizvodno fenomen.


SOlid sic fokusni prstanDelovno načelo

Working Principle of Solid SiC Focus Ring


Primerjava fokusnega prstana na osnovi SI in CVD SIC fokusiran prstan:

Primerjava fokusnega prstana na osnovi SI in CVD SIC fokusirani prstan
Predmet In CVD sic
Gostota (g/cm3) 2.33 3.21
Vrzel v pasu (ev) 1.12 2.3
Toplotna prevodnost (w/cm ℃) 1.5 5
CTE (x10-6/℃) 2.6 4
Elastični modul (GPA) 150 440
Trdota (GPA) 11.4 24.5
Odpornost proti obrabi in koroziji Revni Odlično


Vetek Semiconductor ponuja napredne trdne silicijeve karbide (CVD silicijev karbid), kot so SIC fokusni obroči za polprevodniško opremo. Naši trdni fokusi silicijeve karbide presegajo tradicionalni silicij glede na mehansko trdnost, kemično odpornost, toplotno prevodnost, visokotemperaturno trajnost in odpornost na ionsko jedkanje.


Ključne značilnosti naših sic fokusnih obročev vključujejo:

Visoka gostota za znižane stopnje jedkanja.

Odlična izolacija z visokim pasom.

Visoka toplotna prevodnost in nizek koeficient toplotne ekspanzije.

Vrhunska mehanska odpornost in elastičnost.

Visoka trdota, odpornost na obrabo in korozijska odpornost.

Izdelano z uporaboPlazma okrepljeno odlaganje kemičnih hlapov (PECVD)Tehnike, naši sic fokusni obroči ustrezajo naraščajočim zahtevam procesov jedkanja v proizvodnji polprevodnikov. Zasnovani so tako, da prenesejo višjo plazemsko moč in energijo, zlasti vKapacitivno povezana plazma (CCP)sistemi.

SIC fokusirani prstani Vetek Semiconductor zagotavljajo izjemno zmogljivost in zanesljivost v proizvodnji polprevodniških naprav. Izberite naše komponente SIC za vrhunsko kakovost in učinkovitost.


View as  
 
CVD sic prevlečena z grafitnim tuširnim glavo

CVD sic prevlečena z grafitnim tuširnim glavo

Grafitna glava za tuširanje CVD SiC iz Venekkemican je visokozmogljiva komponenta, ki je posebej zasnovana za postopke polprevodniškega kemičnega odlaganja hlapov (CVD). Izdelana iz grafita visoke čistosti in zaščitena s kemičnim nanašanjem hlapov (CVD) silicijevega karbida (SIC), ta glava tuširanja zagotavlja izjemno vzdržljivost, toplotno stabilnost in odpornost na korozivne procesne pline. Veselimo se vašega nadaljnjega posvetovanja.
Sic Edgen Ring

Sic Edgen Ring

VETEKSMICON High-Waty SIC Edgen obroče, posebej zasnovane za opremo za polprevodniško jedkanje, odlikujejo izjemno korozijsko odpornost in toplotno stabilnost, kar bistveno povečajo donos rezin
Visoka čistost CVD sic surovine

Visoka čistost CVD sic surovine

SIC surovina s CVB visoke čistosti, ki jo pripravi CVD, je najboljši izvorni material za rast kristalov iz silicijevega karbida s fizičnim transport pare. Gostota visoko čistost CVD sic surovine, ki jo ponuja Vetek polprevodnik, je višja kot pri majhnih delcih, ki nastanejo s spontanim zgorevanjem plinov, ki vsebujejo SI in C, in ne potrebuje namenske sintrane peči in ima skoraj konstantno hitrost izhlapevanja. Lahko raste izjemno kakovostne sic enojne kristale. Veselimo se vašega povpraševanja.
Trden nosilec sic rezin

Trden nosilec sic rezin

Trdni nosilec siC rezin Vetek Semiconductor je zasnovan za visoko temperaturno in korozijsko odporno okolje v polprevodniških epitaksialnih procesih in je primeren za vse vrste proizvodnih procesov rezin z visokimi potrebami po čistosti. Vetek Semiconductor je vodilni dobavitelj nosilcev rezin na Kitajskem in se veseli, da bo postal vaš dolgoročni partner v industriji polprevodnikov.
Trdna glava prha v obliki diska v obliki diska

Trdna glava prha v obliki diska v obliki diska

Vetek Semiconductor je vodilni proizvajalec polprevodniške opreme na Kitajskem ter profesionalni proizvajalec in dobavitelj trdne glave tuširanja v obliki črke SIC. Naša glava prhanja v obliki diska se pogosto uporablja pri proizvodnji tankih filmov, kot je postopek CVD za zagotavljanje enakomerne porazdelitve reakcijskega plina in je ena izmed temeljnih komponent CVD peči.
SIC tesnilni del

SIC tesnilni del

Kot napredni proizvajalec izdelkov in tovarna izdelka za tesnjenje SiC na Kitajskem. Vetek Semiconducto SIC tesnilni del je visokozmogljiva tesnilna komponenta, ki se široko uporablja pri obdelavi polprevodnikov in drugih ekstremnih procesih visoke temperature in visokega tlaka. Dobrodošli v nadaljnjem posvetovanju.

Veteksemicon solid silicon carbide is the ideal procurement material for high-temperature, high-strength, and corrosion-resistant components used in semiconductor and industrial applications. As a fully dense, monolithic ceramic, solid silicon carbide (SiC) offers unmatched mechanical rigidity, extreme thermal conductivity, and exceptional chemical durability in harsh processing environments. Veteksemicon’s solid SiC is specifically developed for critical structural applications such as SiC wafer carriers, cantilever paddles, susceptors, and showerheads in semiconductor equipment.


Manufactured through pressureless sintering or reaction bonding, our solid silicon carbide parts exhibit excellent wear resistance and thermal shock performance, even at temperatures above 1600°C. These properties make solid SiC the preferred material for CVD/PECVD systems, diffusion furnaces, and oxidation furnaces, where long-term thermal stability and purity are essential.


Veteksemicon also offers custom-machined SiC parts, enabling tight dimensional tolerances, high surface quality, and application-specific geometries. Additionally, solid SiC is non-reactive in both oxidizing and reducing atmospheres, enhancing its suitability for plasma, vacuum, and corrosive gas environments.


To explore our full range of solid silicon carbide components and discuss your project specifications, please visit the Veteksemicon product detail page or contact us for technical support and quotations.


Kot profesionalec Trden silicijev karbid proizvajalec in dobavitelj na Kitajskem imamo svojo tovarno. Ne glede na to, ali potrebujete prilagojene storitve, da zadovoljijo posebne potrebe vaše regije ali želite kupiti napredne in trajne Trden silicijev karbid, narejene na Kitajskem, nam lahko pustite sporočilo.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept