Spletni meni

Iskanje izdelkov

Jezik

Izdelki

Trden silicijev karbid

VeTek Semiconductor Solid Silicon Carbide je pomembna keramična komponenta v opremi za plazemsko jedkanje, trdni silicijev karbid (CVD silicijev karbid) vključuje dele opreme za jedkanjeobroči za fokusiranje, plinska prha, pladenj, robni obroči itd. Zaradi nizke reaktivnosti in prevodnosti trdnega silicijevega karbida (CVD silicijevega karbida) na pline za jedkanje, ki vsebujejo klor in fluor, je idealen material za obroče za fokusiranje opreme za plazemsko jedkanje in drugo komponente.


Fokusni obroč je na primer pomemben del, nameščen zunaj rezine in v neposrednem stiku z rezino, z uporabo napetosti na obroču za fokusiranje plazme, ki prehaja skozi obroč, in s tem fokusira plazmo na rezino za izboljšanje enakomernosti predelava. Tradicionalni fokusni obroč je narejen iz silikona ozkremen, prevodni silicij kot običajen material obroča za fokus, je skoraj blizu prevodnosti silicijevih rezin, vendar je pomanjkanje slaba odpornost proti jedkanju v plazmi, ki vsebuje fluor, materiali delov stroja za jedkanje, ki se pogosto uporabljajo za določen čas, bodo resni pojav korozije, kar resno zmanjša njegovo proizvodno učinkovitost.


Sstari SiC fokusni obročNačelo delovanja：

Working Principle of Solid SiC Focus Ring


Primerjava obroča za fokusiranje na osnovi Si in obroča za fokusiranje CVD SiC:

Primerjava obroča za fokusiranje na osnovi Si in obroča za fokusiranje CVD SiC
Postavka in CVD SiC
Gostota (g/cm3) 2.33 3.21
Pasovna vrzel (eV) 1.12 2.3
Toplotna prevodnost (W/cm℃) 1.5 5
CTE (x10-6/℃) 2.6 4
Modul elastičnosti (GPa) 150 440
Trdota (GPa) 11.4 24.5
Odpornost proti obrabi in koroziji Ubogi Odlično


VeTek Semiconductor ponuja napredne dele iz trdnega silicijevega karbida (CVD silicijev karbid), kot so fokusni obroči SiC za polprevodniško opremo. Naši fokusni obroči iz trdnega silicijevega karbida prekašajo tradicionalni silicij v smislu mehanske trdnosti, kemične odpornosti, toplotne prevodnosti, vzdržljivosti pri visokih temperaturah in odpornosti proti ionskem jedkanju.


Ključne značilnosti naših obročev za fokusiranje iz SiC vključujejo:

Visoka gostota za manjše stopnje jedkanja.

Odlična izolacija z visoko pasovno režo.

Visoka toplotna prevodnost in nizek koeficient toplotnega raztezanja.

Vrhunska odpornost na mehanske udarce in elastičnost.

Visoka trdota, odpornost proti obrabi in odpornost proti koroziji.

Proizvedeno z uporabos plazmo izboljšano kemično naparjevanje (PECVD)tehnike, naši fokusirni obroči iz SiC izpolnjujejo vse večje zahteve postopkov jedkanja v proizvodnji polprevodnikov. Zasnovani so tako, da prenesejo večjo moč in energijo plazme, zlasti vkapacitivno sklopljena plazma (CCP)sistemi.

Fokusni obroči VeTek Semiconductor iz SiC zagotavljajo izjemno zmogljivost in zanesljivost pri izdelavi polprevodniških naprav. Izberite naše komponente SiC za vrhunsko kakovost in učinkovitost.


View as  
 
Visoka čistost CVD sic surovine

Visoka čistost CVD sic surovine

SIC surovina s CVB visoke čistosti, ki jo pripravi CVD, je najboljši izvorni material za rast kristalov iz silicijevega karbida s fizičnim transport pare. Gostota visoko čistost CVD sic surovine, ki jo ponuja Vetek polprevodnik, je višja kot pri majhnih delcih, ki nastanejo s spontanim zgorevanjem plinov, ki vsebujejo SI in C, in ne potrebuje namenske sintrane peči in ima skoraj konstantno hitrost izhlapevanja. Lahko raste izjemno kakovostne sic enojne kristale. Veselimo se vašega povpraševanja.
Poglej več >> Pošlji povpraševanje >>
Trden nosilec sic rezin

Trden nosilec sic rezin

Trdni nosilec siC rezin Vetek Semiconductor je zasnovan za visoko temperaturno in korozijsko odporno okolje v polprevodniških epitaksialnih procesih in je primeren za vse vrste proizvodnih procesov rezin z visokimi potrebami po čistosti. Vetek Semiconductor je vodilni dobavitelj nosilcev rezin na Kitajskem in se veseli, da bo postal vaš dolgoročni partner v industriji polprevodnikov.
Poglej več >> Pošlji povpraševanje >>
Trdna glava prha v obliki diska v obliki diska

Trdna glava prha v obliki diska v obliki diska

Vetek Semiconductor je vodilni proizvajalec polprevodniške opreme na Kitajskem ter profesionalni proizvajalec in dobavitelj trdne glave tuširanja v obliki črke SIC. Naša glava prhanja v obliki diska se pogosto uporablja pri proizvodnji tankih filmov, kot je postopek CVD za zagotavljanje enakomerne porazdelitve reakcijskega plina in je ena izmed temeljnih komponent CVD peči.
Poglej več >> Pošlji povpraševanje >>
SIC tesnilni del

SIC tesnilni del

Kot napredni proizvajalec izdelkov in tovarna izdelka za tesnjenje SiC na Kitajskem. Vetek Semiconducto SIC tesnilni del je visokozmogljiva tesnilna komponenta, ki se široko uporablja pri obdelavi polprevodnikov in drugih ekstremnih procesih visoke temperature in visokega tlaka. Dobrodošli v nadaljnjem posvetovanju.
Poglej več >> Pošlji povpraševanje >>
Silicon karbide tuš

Silicon karbide tuš

Glava tuš o silicijevem karbidu ima odlično visoko temperaturno toleranco, kemično stabilnost, toplotno prevodnost in dobro zmogljivost porazdelitve plina, ki lahko dosežejo enakomerno porazdelitev plina in izboljšajo kakovost filma. Zato se običajno uporablja v visokotemperaturnih procesih, kot so kemično odlaganje hlapov (CVD) ali fizični odlaganje hlapov (PVD). Dobrodošli na nadaljnjem posvetovanju nam, Vetek Semiconductor.
Poglej več >> Pošlji povpraševanje >>
Silicon karbidni tesnilni prstan

Silicon karbidni tesnilni prstan

Kot profesionalni proizvajalec izdelkov in tovarna iz silicijevega karbidnega tesnila na Kitajskem, se tesnilni obroč iz polprevodniškega silicijevega karbida Vetek pogosto uporablja v opremi za polprevodniško predelavo zaradi svoje odlične toplotne odpornosti, korozijske odpornosti, mehanske trdnosti in toplotne prevodnosti. Posebej je primeren za procese, ki vključujejo visoko temperaturo in reaktivne pline, kot so CVD, PVD in jedkanica v plazmi, in je ključna izbira materiala v procesu izdelave polprevodnikov. Vaše nadaljnje poizvedbe so dobrodošle.
Poglej več >> Pošlji povpraševanje >>
Kot profesionalec Trden silicijev karbid proizvajalec in dobavitelj na Kitajskem imamo svojo tovarno. Ne glede na to, ali potrebujete prilagojene storitve, da zadovoljijo posebne potrebe vaše regije ali želite kupiti napredne in trajne Trden silicijev karbid, narejene na Kitajskem, nam lahko pustite sporočilo.
Novice Priporočila
Diamond - bodoča zvezda polprevodnikov
Diamond - bodoča zvezda polprevodnikovPoglej več >>
Kaj je sic prevlečen z grafitom?
Kaj je sic prevlečen z grafitom?Poglej več >>
Kako porozni grafit izboljšuje rast kristalov silicijevega karbida?
Kako porozni grafit izboljšuje rast kristalov silicijevega karbida?Poglej več >>
Popolna razlaga postopka proizvodnje čipov (2/2): od rezin do embalaže in testiranja
Popolna razlaga postopka proizvodnje čipov (2/2): od rezin do embalaže in testiranjaPoglej več >>
Kako rešiti problem sintranja razpok v keramiki silicijevega karbida? - Vetek Semiconductor
Kako rešiti problem sintranja razpok v keramiki silicijevega karbida? - Vetek SemiconductorPoglej več >>
Zakaj 3C-SIC izstopa med številnimi polimorfi SIC? - Vetek Semiconductor
Zakaj 3C-SIC izstopa med številnimi polimorfi SIC? - Vetek SemiconductorPoglej več >>
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept