Novice o industriji

Silicijeva polirna brozga CMP (Chemical Mechanical Planarization) je kritična komponenta v procesu izdelave polprevodnikov. Ima ključno vlogo pri zagotavljanju, da so silicijeve rezine – ki se uporabljajo za ustvarjanje integriranih vezij (IC) in mikročipov – polirane do natančne stopnje gladkosti, ki je potrebna za naslednje faze proizvodnje

Pri proizvodnji polprevodnikov igra kemijsko mehanska planarizacija (CMP) ključno vlogo. Postopek CMP združuje kemična in mehanska dejanja za glajenje površine silicijevih rezin, kar zagotavlja enotno podlago za nadaljnje korake, kot sta nanašanje tankega filma in jedkanje. Polirna gošča CMP, kot osrednja komponenta tega procesa, pomembno vpliva na učinkovitost poliranja, kakovost površine in končno zmogljivost izdelka

Wafer CMP polirna gošča je posebej formuliran tekoči material, ki se uporablja v procesu CMP za proizvodnjo polprevodnikov. Sestavljen je iz vode, kemičnih jedkal, abrazivov in površinsko aktivnih snovi, ki omogočajo tako kemično jedkanje kot mehansko poliranje.