Novice o industriji

V proizvodni industriji polprevodnikov, ko se velikost naprave še naprej zmanjšuje, je tehnologija nalaganja tankih filmskih materialov predstavljala brez primere izzive. Deponiranje atomske plasti (ALD) kot tehnologija tankega filma, ki lahko doseže natančen nadzor na atomski ravni, je postal nepogrešljiv del proizvodnje polprevodnikov. Ta članek je namenjen uvedbi procesnega toka in načel ALD, da bi pomagali razumeti njegovo pomembno vlogo pri napredni proizvodnji čipov.

Idealno je za izgradnjo integriranih vezij ali polprevodniških naprav na popolni kristalni osnovni plasti. Proces Epitaxy (EPI) v proizvodnji polprevodnikov je namenjen fine enokristalne plasti, običajno približno 0,5 do 20 mikronov, na enokristalni substrat. Postopek epitaksija je pomemben korak pri izdelavi polprevodniških naprav, zlasti pri proizvodnji silicijevih rezin.

Glavna razlika med odlaganjem epitaksije in atomske plasti (ALD) je v njihovih mehanizmih rasti filmov in delovnih pogojih. Epitaxy se nanaša na proces gojenja kristalnega tankega filma na kristalni podlagi s specifičnim orientacijskim razmerjem, ki ohranja enako ali podobno kristalno strukturo. V nasprotju s tem je ALD tehnika odlaganja, ki vključuje izpostavljanje substrata različnim kemičnim prekurzorjem v zaporedju, da tvori tanek film po en atomski sloj naenkrat.