Spletni meni

Iskanje izdelkov

Jezik

Izdelki
Hitro toplotno žarjenje
  • Hitro toplotno žarjenjeHitro toplotno žarjenje
  • Hitro toplotno žarjenjeHitro toplotno žarjenje
  • Hitro toplotno žarjenjeHitro toplotno žarjenje

Hitro toplotno žarjenje

Vetek Semiconductor je vodilni hitri proizvajalec in dobavitelj hitrega žarjenja na Kitajskem, ki se osredotoča na zagotavljanje visokozmogljivih rešitev za industrijo polprevodnikov. Na področju materialov za sic prevleke imamo dolgoletno globoko tehnično kopičenje. Naš hitri obstreznik toplotnega žarjenja ima odlično visoko temperaturno odpornost in odlično toplotno prevodnost, da zadovolji potrebe epitaksialne proizvodnje rezin. Vabljeni, da obiščete našo tovarno na Kitajskem, če želite izvedeti več o naši tehnologiji in izdelkih.
Pošlji povpraševanje 
Opis izdelka

Vetek Semiconductor Rapid Termaling Asceptor je z visoko kakovostjo in dolgo življenjsko dobo, dobrodošel, da nas poizveduje.

Hitro toplotno žarjenje (RTA) je ključna podskupina hitre termične obdelave, ki se uporablja pri izdelavi polprevodniških naprav. Vključuje segrevanje posameznih rezin za spreminjanje njihovih električnih lastnosti z različnimi ciljnimi toplotnimi obdelavami. Postopek RTA omogoča aktivacijo dopantov, spreminjanje vmesnikov substrat film-film ali film-rezina, zgostitev nanesenih filmov, modifikacijo stanja gojenega filma, popravilo poškodb zaradi ionske implantacije, premikanje dopantov in premikanje dopantov med filmi ali v substrat za rezine.

VETEK polprevodniški produkt, hitri apartmaji za žarjenje, ima ključno vlogo pri procesu RTP. Izdelan je z uporabo grafitnega materiala z visoko čistostjo z zaščitnim premazom inertnega silicijevega karbida (sic). Silicijev substrat, prevlečen s sic, lahko zdrži temperature do 1100 ° C, kar zagotavlja zanesljive zmogljivosti tudi v ekstremnih pogojih. SIC prevleka zagotavlja odlično zaščito pred puščanjem plina in odstranjevanjem delcev, kar zagotavlja dolgo življenjsko dobo izdelka.

Za vzdrževanje natančnega nadzora temperature je čip inkapsuliran med dvema grafitnima komponentama visoke čistosti, prevlečene s SIC. Natančne meritve temperature lahko dobite z integriranimi visokotemperaturnimi senzorji ali termoelementom v stiku s substratom.


Osnovne fizikalne lastnosti CVD SiC prevleke:

Basic physical properties of CVD SiC coating


Osnovne fizikalne lastnosti CVD SiC prevleke
Lastnina Tipična vrednost
Kristalna struktura FCC β fazni polikristalni, predvsem (111) usmerjen
Gostota 3.21 g/cm³
Trdota 2500 Vickers trdota （500G obremenitev）
Velikost zrn 2~10 μm
Kemijska čistost 99,99995 %
Toplotna zmogljivost 640 J · kg-1· K.-1
Temperatura sublimacije 2700 ℃
Upogibna moč 415 MPA RT 4-točka
Young's Modul 430 GPA 4pt Bend, 1300 ℃
Toplotna prevodnost 300W · m-1· K.-1
Toplotna ekspanzija (CTE) 4,5×10-6K-1


Primerjajte trgovino s proizvodnjo polprevodnikov:

VeTek Semiconductor Production Shop


Pregled industrijske verige epitaksije polprevodniških čipov:

Overview of the semiconductor chip epitaxy industry chain


Hot Tags: Hitro toplotno žarjenje
Povezana kategorija
Pošlji povpraševanje
Kontaktne informacije
Za vprašanja o prevleki iz silicijevega karbida, prevleki iz tantalovega karbida, posebnem grafitu ali ceniku, nam pustite svoj e-poštni naslov in kontaktirali vas bomo v 24 urah.
Podobni izdelki
Novice Priporočila
Kako doseči visoko kakovostno rast kristalov? - sic kristalna rastna peč
Kako doseči visoko kakovostno rast kristalov? - sic kristalna rastna pečPoglej več >>
Kako pripraviti CVD TAC prevleko? - Vetkeksemin
Kako pripraviti CVD TAC prevleko? - VetkekseminPoglej več >>
Kaj je keramika iz silicijevega karbida?
Kaj je keramika iz silicijevega karbida?Poglej več >>
Kako sic prevleka izboljša oksidacijsko odpornost na ogljik？
Kako sic prevleka izboljša oksidacijsko odpornost na ogljik？Poglej več >>
Kako porozni grafit izboljšuje rast kristalov silicijevega karbida?
Kako porozni grafit izboljšuje rast kristalov silicijevega karbida?Poglej več >>
Rol Up! Dva glavna proizvajalca bosta množično proizvedla 8-palčni silicijev karbid
Rol Up! Dva glavna proizvajalca bosta množično proizvedla 8-palčni silicijev karbidPoglej več >>
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept