CVD sic prevleka za grafit

CVD SiC prevleka Graphite Suspertor je posebej zasnovan za visoko natančno proizvodnjo v polprevodniški industriji. Grafitni substrat je s postopkom CVD prevlečeno z visoko čistočo SiC, ki ima odlično visoko temperaturno odpornost, korozijsko odpornost in oksidacijsko odpornost in lahko dolgo deluje stabilno v visoko temperaturnih in vakuumskih okoljih. Ta podstavek se široko uporablja v MOCVD, PECVD, PVD in drugo opremo za podporo obdelave in ravnanju s rezinami in drugimi visoko natančnimi materiali.

Ključne prednosti:

● Visoka temperaturna stabilnost: Sam grafit z visoko čistočo ima odlično toplotno stabilnost. Potem ko je prevlečen s siC prevleko, lahko zdrži višje temperaturne ekstremne okolje in je primeren za visokotemperaturne procese pri obdelavi polprevodnikov.

● Kotičekodpornost na ion: CVD sic prevleka je odporna na kislinsko in alkalno korozijo in ima lahko dolgo življenjsko dobo v procesu CVD.

● Visok hupornost in oksidacijska odpornost: CVD SiC prevleka ima odlično trdoto, odpornost na praske in oksidacijsko odpornost pri visokih temperaturah, da se ohrani stabilnost materiala.

● Dobra toplotna prevodnost: Kombinacija grafitnega substrata in CVD sic prevleke za prevleko naredi bazo odlično toplotno prevodnost, ki lahko učinkovito izvaja toploto in izboljša učinkovitost proizvodnje.

Specifikacije izdelka:

● Material: Graphite Substrat + CVD SiC prevleka

● Debelina premaza: Lahko ga prilagodite glede na potrebe strank

● Veljavno okolje: visoka temperatura, vakuumsko, jedko plinsko okolje

Prilagojena storitev:

Nudimo zelo prilagojene storitve za zadovoljevanje potreb in procesov kupcev. Glede na specifično aplikacijo kupca je mogoče zagotoviti grafitne baze z različnimi debelini prevleke, površinsko obdelavo in natančnostjo.

Veeksemi že od nekdaj dela v industriji Silicon Carbide CVD in ima vodilno industrijsko proizvodnjo in proizvodnjo grafitne baze SIC za CVD in raven proizvodnje. Če potrebujete več informacij o izdelku ali prilagojene storitve, se obrnite na Vetek Semiconductor, vam bomo v celoti zagotovili strokovno podporo.

SEM podatki CVD SIC Film Crystal Structure:

To polprevodnikTrgovine izdelkov za obvladovanje grafitskih izdelkov CVD SIC: