Kaj je Tantalum karbid (TAC)？

Tantalum karbid (TAC)je binarna spojina Tantalum (TA) in ogljika (C), pri čemer se kemična formula običajno izraža kot TACₓ (kjer se X giblje od 0,4 do 1). Uvrščena je med ognjevzdržno keramično material z odlično trdoto, visokotemperaturno stabilnostjo in kovinsko prevodnostjo.

1. struktura karbida Tantalum

1.1 Kemična sestava in kristalna struktura

Tantalum karbid je binarna keramična spojina, sestavljena iz Tantaluma (TA) in ogljika (C).

Njegova kristalna struktura je kubika, osredotočena na obraz (FCC), kar mu daje odlično trdoto in stabilnost.

1.2 Lastnosti vezi

Močna kovalentna vezava naredi Tantalum karbid izjemno trd in odporen proti deformaciji.

TAC ima izjemno nizek difuzijski koeficient in ostane stabilen tudi pri visokih temperaturah.

Prevleka Tantalum karbida (TAC) na mikroskopskem prerezu

2. fizikalne lastnosti Tantalum karbida

2.1 Ultra visoko tališče

Tantalum karbid ima s tališčem 3.880 ° C eno najvišjih tališč katerega koli znanega materiala, kar ima za posledico odlično stabilnost pri ekstremnih temperaturah.

2.2 Odlična trdota

S trdoto MOHS približno 9-10 je blizu diamanta in se zato pogosto uporablja v oblačilih, odpornih na obrabe.

2.3 Dobra električna prevodnost

Za razliko od večine keramičnih materialov ima TAC visoko kovinsko podobno električno prevodnost, zaradi česar je dragocena za uporabo v nekaterih elektronskih napravah.

2.4 Korozijska in oksidacijska odpornost

TAC je izjemno odporen proti kislini koroziji in ohranja svojo strukturno celovitost v težkih okoljih v daljšem časovnem obdobju.

Vendar lahko TAC oksidira v tantalum pentoksid (ta₂o₅) v zraku nad 1500 ° C. 

3. Skupni končni izdelki za karbide Tantalum

3.1 Deli, prevlečeni s Tantalum karbide

● CVD Tantalum Carbide prevlečen: Uporablja se v polprevodniški epitaksiji in obdelavi visoke temperature.

● Grafitni deli, prevlečeni s karbidom: Uporablja se v peči visokih temperaturnih pečh in komorah za predelavo rezin. Primeri vključujejo porozni grafit, prevlečen s karbidom, kar bistveno izboljšuje učinkovitost procesa in kakovost kristala z optimizacijo pretoka plina med rastjo kristalov SIC, zmanjšanje toplotnega napetosti, izboljšanje toplotne enotnosti, povečanje korozijske odpornosti in zaviranje difuzije nečistoče.

● Tantalum karbid, prevlečena z vrtenjem: Vrtelna plošča, prevlečena s TAC, Veeksemicon ima visoko vsebnost nečistoče z manj kot 5ppm in gosto in enakomerno strukturo, ki se pogosto uporablja v sistemu LPE EPI, sistemu Aixtron, Nuflare System, Tel CVD sistem, sistem Veeco, sistem TSI. Sistemi, sistemi TSI.

● Grelec s prevleko s TAC: Kombinacija izjemno visokega tališča TAC prevleke (~ 3880 ° C) omogoča delovanje pri zelo visokih temperaturah, zlasti pri rasti epitaksialnih plasti Gallium nitrid (GAN) v postopku kovinskega organskega kemičnega nalaganja hlapov (MOCVD).

● Tantalum karbid, prevlečen z loncem: CVD TAC, prevlečeni s križišči, imajo pogosto ključno vlogo pri rasti sic posameznih kristalov s PVT.

3.2 Orodja za rezanje in komponente, odporne na obrabo

● Orodja za rezanje karbida s karbidom Tantalum karbide: Izboljšati življenjsko dobo orodja in natančnost obdelave.

● Aerospace šobe in toplotni ščitniki: Zagotovite zaščito v ekstremnih toplotnih in jedkih okoljih.

3.3 Keramični izdelki Tantalum Carbide visoko zmogljivosti

● Sistemi toplotne zaščite vesoljskih plovil (TPS): Za vesoljska in hipersonalna vozila.

● prevleke za jedrsko gorivo: Zaščitite pelete jedrskega goriva pred korozijo.

4. aplikacije Tantalum karbida v proizvodnji polprevodnikov

4.1 Prevozniki, prevlečeni s karbidom Tantalum (suspeštor) za epitaksialne procese

Vloga: prevleke za karbide Tantalum, naneseni za grafitne nosilce, izboljšujejo toplotno enakomernost in kemično stabilnost pri kemičnem odlaganju hlapov (CVD) in kovinsko-organskih kemičnih nanašanju hlapov (MOCVD).

Prednost: Zmanjšana kontaminacija procesa in podaljšana življenjska doba nosilca.

4.2 komponente jedkanic in odlaganja

Obroči in ščitniki rezin: premaz karbida Tantalum izboljšuje trajnost komora v plazmi.

Prednost: zdrži agresivna okolja jedkanja in zmanjšuje padavine onesnaževalcev.

4.3 visokotemperaturni ogrevalni elementi

Uporaba pri rasti SIC CVD: ogrevalni elementi, prevlečeni s karbidom, izboljšajo stabilnost in učinkovitost procesa izdelave rezin silicijevega karbida (SIC).

4.4 Zaščitni premazi za opremo za proizvodnjo polprevodnikov

Zakaj potrebujete tac prevleko?  Polprevodniška proizvodnja vključuje ekstremne temperature in korozivne pline, prevleke za karbide Tantalum pa so učinkovite pri izboljšanju stabilnosti in življenjske dobe opreme.

5. Zakaj izbratiSemicon?

VETEKSEMON je vodilni proizvajalec in dobaviteljTantalum karbidni premazMateriali za industrijo polprevodnikov na Kitajskem. Naši glavni izdelki vključujejo CVD -jeve dele, prevlečene s karbidom Tantalum, sintrane TAC prevlečene dele za rast kristalov SIC ali polprevodniške epitaksije. VETEKSmicon je zavezan, da bo inovator in vodja v industriji premaz karbide Tantalum s stalnimi raziskavami in razvoj ter tehnologijo.