Grafitni obroč s prevleko CVD TaC

Splošne informacije o izdelku

Poslovni pogoji izdelkov

Aplikacija: Veteksemicon CVD TaC Coated Ring je razvit posebej zaProcesi rasti kristalov SiC. Kot ključna nosilna komponenta v visokotemperaturni reakcijski komori njegova edinstvena prevleka TaC učinkovito izolira korozijo s silicijevimi hlapi, preprečuje kontaminacijo z nečistočami in zagotavlja strukturno stabilnost v dolgotrajnih visokotemperaturnih okoljih, kar zagotavlja zanesljivo jamstvo za pridobivanje visokokakovostnih kristalov.

Storitve, ki jih je mogoče zagotoviti: analiza scenarijev aplikacij strank, ujemanje materialov, reševanje tehničnih problemov.

Profil podjetjae：Veteksemicon ima 2 laboratorija, ekipo strokovnjakov z 20-letnimi materialnimi izkušnjami, z zmogljivostmi raziskav in razvoja ter proizvodnje, testiranja in preverjanja.

Moj tekmec CVD TaC Coated Ring je osnovni potrošni material, zasnovan za visokotemperaturno kemično naparjanje in rast kristalov naprednih polprevodniških materialov, zlasti silicijevega karbida. Uporabljamo edinstveno, optimizirano tehnologijo kemičnega naparjevanja, da nanesemo gosto, enotnoprevleka iz tantalovega karbidana grafitni podlagi visoke čistosti. Z izjemno odpornostjo na visoke temperature, odlično odpornostjo proti koroziji in izjemno dolgo življenjsko dobo ta izdelek učinkovito ščiti kakovost kristalov in znatno zmanjša vaše skupne proizvodne stroške, zaradi česar je bistvena izbira za procese, ki zahtevajo stabilnost procesa in najvišji izkoristek.

Tehnični parametri:

Moj tekmec CVD TaC Coated Ring prednosti jedra

Neprimerljiva čistost in stabilnost

V ekstremnem okolju rasti kristalov SiC, kjer temperature presegajo 2000 °C, lahko že sledovi nečistoč uničijo električne lastnosti celotnega kristala. NašCVD TaC prevleka, s svojo izjemno čistostjo temeljito odpravi kontaminacijo prstana. Poleg tega njegova odlična visokotemperaturna stabilnost zagotavlja, da se prevleka ne bo razgradila, izhlapela ali reagirala s procesnimi plini med dolgotrajnim visokotemperaturnim in termičnim kroženjem, kar zagotavlja čisto in stabilno okolje parne faze za rast kristalov.

Odlična korozijska inodpornost proti eroziji

Korozija grafita s silicijevimi hlapi je glavni vzrok okvare in kontaminacije z delci v tradicionalnih grafitnih obročih. Naš TaC premaz s svojo izjemno nizko kemično reaktivnostjo s silicijem učinkovito blokira silicijeve pare in ščiti spodnji grafitni substrat pred erozijo. To ne samo bistveno podaljša življenjsko dobo samega obroča, ampak, kar je še pomembneje, znatno zmanjša delce, ki nastanejo zaradi korozije podlage in lomljenja, kar neposredno izboljša izkoristek rasti kristalov in notranjo kakovost.

Odlična mehanska zmogljivost in življenjska doba

Prevleka TaC, oblikovana s postopkom CVD, ima izjemno visoko gostoto in Vickersovo trdoto, zaradi česar je izjemno odporna na obrabo in fizične udarce. V praktičnih aplikacijah lahko naši izdelki podaljšajo življenjsko dobo za 3- do 8-krat v primerjavi s tradicionalnimi grafitnimi obroči ali obroči, prevlečenimi s pirolitičnim ogljikom/silicijevim karbidom. To pomeni manj izpadov zaradi zamenjave in večjo izkoriščenost opreme, kar znatno zmanjša skupne stroške proizvodnje monokristalov.

Odlična kakovost premaza

Delovanje premaza je močno odvisno od njegove enakomernosti in trdnosti lepljenja. Naš optimizirani postopek CVD nam omogoča doseganje zelo enakomerne debeline nanosa tudi na najbolj zapletenih geometrijah obročev. Še pomembneje je, da prevleka tvori močno metalurško vez z grafitno podlago visoke čistosti, kar učinkovito preprečuje luščenje, razpoke ali luščenje, ki ga povzročajo razlike v koeficientih toplotnega raztezanja med hitrimi cikli segrevanja in ohlajanja, kar zagotavlja neprekinjeno zanesljivo delovanje v celotnem življenjskem ciklu izdelka.

Potrditev preverjanja ekološke verige

Preverjanje ekološke verige Veteksemicon CVD TaC Coated Ring zajema surovine do proizvodnje, je opravilo certificiranje mednarodnih standardov in ima številne patentirane tehnologije, ki zagotavljajo njegovo zanesljivost in trajnost na področju polprevodnikov in nove energije.

Za podrobne tehnične specifikacije, bele knjige ali dogovore o testiranju vzorcev prosimostopite v stik z našo ekipo za tehnično podporoda raziščete, kako lahko Veteksemicon izboljša vašo učinkovitost procesa.