CVD TAC prevleka za prevleko

Obseg za vrtenje TAC ima ključno vlogo pri postopkih visoke temperature nalaganja, kot sta CVD in MBE, in je pomemben sestavni del za obdelavo rezin pri proizvodnji polprevodnikov. Med njimi,Tac prevlekaIma odlično visoko temperaturno odpornost, korozijsko odpornost in kemično stabilnost, kar zagotavlja visoko natančnost in visoko kakovost med predelavo rezin.

CVD TAC prevleka za prevleko je običajno sestavljena iz TAC prevleke ingrafitsubstrat. Med njimi je TAC visoko talilni keramični material s talilno točko do 3880 ° C. Ima izjemno visoko trdoto (trdota Vickers do 2000 HV), kemično korozijsko odpornost in močno oksidacijsko odpornost. Zato je TAC prevleka odličen visoko temperaturni odporen material v tehnologiji za predelavo polprevodnikov.

Grafitni substrat ima dobro toplotno prevodnost (toplotna prevodnost je približno 21 w/m · K) in odlična mehanska stabilnost. Ta značilnost določa, da grafit postane idealna prevlekasubstrat.

CVD TAC prevleka Crucible se uporablja predvsem v naslednjih tehnologijah za obdelavo polprevodnikov:

Proizvodnja rezin: Vetek polprevodniški CVD TAC prevlečen Crucible ima odlično visoko temperaturno odpornost (tališče do 3880 ° C) in korozijsko odpornost, zato se pogosto uporablja v procesih proizvodnje ključnih rezin, kot sta visoko temperaturno nanašanje hlapov (CVD) in epitaksialna rast. V kombinaciji z odlično konstrukcijsko stabilnostjo izdelka v ultra visokem temperaturnem okolju zagotavlja, da lahko oprema dolgo časa deluje v izjemno ostrih pogojih, s čimer učinkovito izboljšuje učinkovitost proizvodnje in kakovost rezin.

Epitaksialni proces rasti: V epitaksialnih procesih, kot soOdlaganje kemičnih hlapov (CVD)Epitaksija molekularnega žarka (MBE), CVD TAC prevleka Crucible ima ključno vlogo pri nošenju. Njegova prevleka TAC ne more samo ohraniti visoke čistosti materiala pod ekstremno temperaturo in korozivno atmosfero, ampak tudi učinkovito preprečiti kontaminacijo reaktantov na materialu in korozijo reaktorja, kar zagotavlja natančnost proizvodnega procesa in konsistentnosti produkta.

Kot vodilni kitajski CVD TAC prevleka proizvajalca in vodjo, lahko Vetek Semiconductor v skladu z vašo opremo in postopki nudi prilagojene izdelke in tehnične storitve. Iskreno upamo, da bomo postali vaš dolgoročni partner na Kitajskem.

Prevleka Tantalum karbida (TAC) na mikroskopskem prerezu：

Fizikalne lastnosti TAC prevleke：

To polprevodnik CVD TAC prevleke za lončke Trgovine: