CVD TAC prevleka za prevleke

Med postopkom izdelave polprevodnikov je Vetek Semiconductor'sCVD TAC prevleka za prevlekeje pladenj, ki se uporablja za prevoz rezin. Ta izdelek uporablja postopek kemičnega odlaganja hlapov (CVD) za premazovanje plasti TAC prevleke na površiniPodlaga za nosilce rezin. Ta prevleka lahko znatno izboljša oksidacijo in korozijsko odpornost nosilca rezin, hkrati pa zmanjša onesnaženje delcev med obdelavo. Je pomemben sestavni del pri obdelavi polprevodnikov.

Se ukvarja s polprevodnikiCVD TAC prevleka za prevlekeje sestavljen iz podlage in aprevleka Tantalum karbide (TAC).

Debelina prevlek Tantalum karbida je običajno v območju 30 mikronov, TAC pa tališče do 3.880 ° C, hkrati pa zagotavlja odlično korozijo in odpornost na obrabo, med drugimi lastnostmi.

Osnovni material prevoznika je izdelan iz grafita visoke čistosti ozSilicijev karbid (sic), nato pa je plast TAC (trdota knoop do 2000hk) na površini prevlečena s postopkom CVD, da se izboljša njena korozijska odpornost in mehansko trdnost.

Med postopkom rezin je Vetek SemiconductorCVD TAC prevleka za prevlekelahko igrajo naslednje pomembne vloge:

1. Zaščita rezin

Fizična zaščita Prevoznik služi kot fizična ovira med rezino in zunanjimi mehanskimi viri poškodbe. Kadar se rezine prenašajo med različne opreme za predelavo, na primer med kemično nalaganje hlapov (CVD) in orodjem za jedkanje, so nagnjene k praskam in udarcem. CVD TAC prevleka za prevleke ima relativno trdo in gladko površino, ki lahko zdrži normalne sile za ravnanje in prepreči neposreden stik med rezino in grobimi ali ostrimi predmeti, s čimer zmanjša tveganje za fizične poškodbe rezin.

Kemična zaščita TAC ima odlično kemično stabilnost. Med različnimi koraki kemijske obdelave v postopku rezin, kot sta mokro jedkanje ali kemično čiščenje, lahko CVD TAC prevleka prepreči, da bi kemična sredstva prišla v neposreden stik z nosilnim materialom. To ščiti nosilec rezin pred korozijo in kemičnim napadom, s čimer zagotavlja, da se nosilci iz nosilca ne sprostijo na rezine in s tem ohranijo celovitost kemije površinske rezine.

2. Podpora in poravnava

Stabilna podpora Prevoznik rezin zagotavlja stabilno platformo za rezine. V procesih, kjer so rezine podvržene visoko temperaturni obdelavi ali visoki tlačni okolji, na primer v visoki temperaturni peči za žarjenje, mora biti nosilec sposoben enakomerno podpirati rezino, da prepreči upogibanje ali razpokanje rezin. Pravilna zasnova in visoko kakovostna TAC prevleka nosilca zagotavljata enakomerno porazdelitev napetosti po rezini, tako da ohranjata raven in strukturno celovitost.

Natančna poravnava Natančne poravnave je ključnega pomena za različne procese litografije in odlaganja. Nosilec rezin je zasnovan z natančnimi lastnostmi poravnave. TAC prevleka pomaga ohranjati dimenzijsko natančnost teh lastnosti poravnave sčasoma, tudi po večkratni uporabi in izpostavljenosti različnim pogojem obdelave. To zagotavlja, da so rezine natančno nameščene znotraj opreme za predelavo, kar omogoča natančno vzorčenje in plastenje polprevodniških materialov na površini rezine.

3. Prenos toplote

Enotna porazdelitev toplote v mnogih procesih rezin, kot sta toplotna oksidacija in KVB, je ključnega pomena natančen nadzor temperature. CVD TAC prevleka za prevleke ima dobre lastnosti toplotne prevodnosti. Med ogrevalnimi operacijami lahko enakomerno prenese toploto v rezino in med hlajenjem odstrani toploto. Ta enakomerni prenos toplote pomaga zmanjšati temperaturne gradiente v rezini, kar zmanjšuje toplotne napetosti, ki bi lahko povzročile napake v polprevodniških napravah, ki so izdelane na rezini.

Izboljšana učinkovitost toplote - prenosa TAC prevleka lahko izboljša celotne značilnosti prenosa toplote - nosilca rezin. V primerjavi z neobdelanimi nosilci ali nosilci z drugimi prevlekami ima lahko površina TAC premaza ugodnejša površina - energijo in teksturo za izmenjavo toplote z okoliškim okoljem in rezino samega. To ima za posledico učinkovitejši prenos toplote, ki lahko skrajša čas obdelave in izboljša proizvodno učinkovitost procesa proizvodnje rezin.

4. Nadzor kontaminacije

Nizko - izkazovanje lastnosti TAC prevleka običajno kaže na nizko vedenje, ki je ključnega pomena v čistem okolju postopka izdelave rezin. Izkazovanje hlapnih snovi iz nosilca rezin lahko onesnaži površino rezin in procesnega okolja, kar vodi do okvare naprav in zmanjšanih donosov. Nizka narava, ki presega CVD TAC prevleka, zagotavlja, da nosilec v postopek ne uvaja neželenih onesnaževal, kar ohranja potrebe po visoki čistosti iz proizvodnje polprevodnikov.

Delci - Prosta površina gladka in enakomerna narava CVD TAC prevleke zmanjšuje verjetnost nastajanja delcev na površini nosilne. Delci se lahko med obdelavo držijo rezine in povzročijo napake v polprevodniških napravah. Z minimiziranjem nastajanja delcev TAC prevleka za prevleko pomaga izboljšati čistočo procesa proizvodnje rezin in povečati donos izdelka.

Prevleka Tantalum karbida (TAC) na mikroskopskem prerezu:

Osnovne fizikalne lastnosti CVD TAC prevleke：

To polprevodnikCVD TAC prevleke za proizvodnjo nosilnih rezin: