Kako TAC prevleka izboljša življenjsko dobo grafitnih komponent? - Vetek Semiconductor

KVB Tantalum Carbide prevlekanastaja z nanašanjem hlapov karbida Tantalum (TAC) na površini grafitnega substrata z visoko čistostjo z uporabo procesa Proprieral Chemical Pare na deponiranje pare (CVD).

Prevleke iz tantalovega karbida (TaC) znatno podaljšajo življenjsko dobografitnih delovz več mehanizmi, zlasti v visokotemperaturnih, zelo korozivnih okoljih, kot sta proizvodnja polprevodnikov in rast kristalov. 

Tukaj so posebni razlogi, zakajTaC premaziIzboljšajte trajnost grafitnih delov:

● Izboljšana visoka temperaturna odpornost

Izjemno visoka toplotna stabilnost: TAC prevleke lahko ostanejo stabilne pri izjemno visokih temperaturah, ki presegajo 2000 ° C in lahko celo učinkovito delujejo pri 2200C. Ta visoka temperaturna toleranca omogoča, da prevleka vzdrži erozijo staljenih kovin in kemičnih plinov med proizvodnjo polprevodnikov, s čimer podaljša življenjsko dobo grafitnih delov.

●  Odlična odpornost proti koroziji

Odpornost proti kemični eroziji: premazi TaC so močno odporni na jedke pline, kot so vodik, amoniak in silicijeve pare, kar lahko učinkovito prepreči, da bi ti plini razjedali grafitno podlago, in zmanjša tveganje poškodb grafitnih delov v težkih okoljih. To pomeni, da lahko med procesom rasti kristalov prevleka zavira migracijo nečistoč ter izboljša kakovost in izkoristek kristalov.

●  Izboljšane mehanske lastnosti

Dobra adhezija in upornost toplotnega udarca: TAC prevleke imajo močno oprijem na grafitni substrat, kar zagotavlja, da se prevleka med visokotemperaturnimi operacijami ne bo olupila ali razvila. Poleg tega lahko njegova odlična odpornost toplotnega udarca prenese hitre temperaturne spremembe brez razpoka ali luščenje, kar še podaljša življenjsko dobo grafitnih delov.

● Zmanjšajte kontaminacijo nečistoče

Ultra visoka čistost: Tac prevleke imajo izjemno nizko vsebnost nečistoče, kar pomaga zmanjšati težave z onesnaženjem, ki se lahko pojavijo v visokih temperaturnih pogojih. S preprečevanjem neželenih nečistoč se preselijo na epitaksialno plast, TAC prevleke bistveno izboljšajo čistost in kakovost procesa rasti kristalov.

●  Optimizirajte upravljanje toplote

Izboljšajte toplotno prevodnost in upornost: prevleke TAC imajo razmeroma nizko toplotno prevodnost in upornost, kar omogoča njegovo uporabo v grelnikih in drugih komponentah toplotnega upravljanja za izboljšanje energetske učinkovitosti in zmanjšanje izgube energije. Ta funkcija ne samo izboljša učinkovitost delovanja, ampak tudi zmanjšuje utrujenost materiala in poškodbe, ki jih povzroča pregrevanje.