MOCVD Epitaxial rezine zagotavljajo

MOCVD epitaksialni obstreznik rezin je visokozmogljiv epitaksialni rezin rezin, zasnovan za opremo MOCVD (kovinsko-organsko kemično odlaganje parnih hlapov). Občutek je izdelan iz grafitnega materiala SGL in prevlečen s silikonskim karbidnim premazom, ki združuje visoko toplotno prevodnost grafita z odlično visoko temperaturno in korozijsko odpornostjo SIC in je primeren za ostro delovno okolje visokega temperaturnega, visokega tlaka in korozivnega plina med epitaksialno rastjo polprevodnikov.

Grafitni material SGL ima odlično toplotno prevodnost, kar zagotavlja, da se temperatura epitaksialne rezine enakomerno porazdeli med procesom rasti in izboljša kakovost epitaksialne plasti. Obložena sic prevleka omogoča, da obstrestnik zdrži visoke temperature več kot 1600 ℃ in se v procesu MOCVD prilagodi ekstremnemu toplotnemu okolju. Poleg tega lahko SIC prevleka učinkovito upira visokotemperaturne reakcijske pline in kemično korozijo, podaljša življenjsko dobo obvladovalca in zmanjša onesnaževanje.

VETEKSMI -jev MOCVD epitaksialni rezin rezin se lahko uporablja kot zamenjava za dodatke dobaviteljev opreme MOCVD, kot je Aixtron.

● velikost: Lahko ga prilagodite glede na potrebe strank (na voljo standardna velikost).

● nosilna zmogljivost: Lahko nosite več ali celo več kot 50 epitaksialnih rezin hkrati (odvisno od velikosti suspeštorja).

● površinsko obdelavo: Sic prevleka, korozijska odpornost, oksidacijska odpornost.

● Polprevodniška industrija: Uporablja se za rast epitaksialnih rezin, kot so LED, laserske diode in polprevodniki moči.

● industrija optoelectronics: Podpira epitaksialno rast kakovostnih optoelektronskih naprav.

● Raziskave in razvoj gradiva višjega cenovnega razreda: Uporablja se za epitaksialno pripravo novih polprevodnikov in optoelektronskih materialov.

Vetek Semiconductor, odvisno od kupčeve vrste MOCVD opreme in proizvodne potrebe, ponuja prilagojene storitve, vključno z velikostjo asiceptorja, materialom, površinsko obdelavo itd., Da se zagotovi kupcem najprimernejša rešitev.

Kristalna struktura filma CVD sic

Osnovne fizikalne lastnosti CVD sic prevleke

To polprevodnik Trgovine z epitaksialnimi rezinami MOCVD