Novice o industriji

SIC keramika je keramični material, ki nastane z reakcijo silikonskih (SI) in ogljikovih (c) elementov, ki vsebujejo izjemno visoko trdoto, toplotno odpornost in kemično stabilnost

V svetu z visokimi vložki sta natančnost in stabilnost vsega-in tu stopi elektrostatični chuck (ESC). Veliko več kot le orodje za zadrževanje, ESC uporablja elektrostatične sile za varno pritrditev rezin med kritičnimi procesi, kot so jedkanica, odlaganje in ionske implantacije. Toda kako dejansko deluje? Zakaj je boljši od tradicionalnega mehanskega vpenjanja? In kakšno vlogo ima pri doseganju natančnosti nanoseke in učinkovitosti pretoka? Dobrodošli za branje.

Načelo delitve elektrostatičnega Chucka je ključni del njegovega delovnega toka, ki vključuje mehanizme za odstranjevanje elektrostatičnih sil in mehanizme sproščanja rezin.