Novice o industriji

Elektrostatični chuck (ESC), znan tudi kot elektrostatični chuck (ESC, E-Chuck), je vgradnja, ki uporablja načelo elektrostatične adsorpcije za držanje in pritrditev adsorbiranega materiala. Primerno je za vakuumsko in plazemsko okolje.

Nosilci sic rezin, kot ključni potrošni material v industrijski verigi polprevodnikov tretje generacije, njihove tehnične značilnosti neposredno vplivajo na donos epitaksialne rasti in proizvodnje naprav. Z naraščajočim povpraševanjem po visokonapetostnih in visokotemperaturnih napravah v panogah, kot so 5G bazne postaje in nova energetska vozila, se raziskave in uporaba nosilcev sic rezin zdaj soočajo z pomembnimi razvojnimi priložnostimi.

Alumina keramika je "delovni konj" za izdelavo keramičnih komponent. Imajo odlične mehanske lastnosti, ultra visoke tališča in trdoto, korozijsko odpornost, močno kemično stabilnost, visoko upornost in vrhunsko električno izolacijo. Običajno se uporabljajo za izdelavo plošč za poliranje, vakuumske chucks, keramične roke in podobne dele.