Novice

Pri pripravi visokokakovostnih in visoko donosne podlage silicijevega karbida jedro zahteva natančen nadzor nad temperaturo proizvodnje z dobrimi materiali termičnega polja. Trenutno so v glavnem uporabljeni kompleti za termično poljsko lonček strukturne komponente z visoko čisto čistostjo, katerih funkcije so ogrevanje staljenega ogljikovega prahu in silicijevega prahu ter za vzdrževanje toplote.

Ko boste videli polprevodnike tretje generacije, se boste zagotovo spraševali, kakšna sta bila prva in druga generacija. "Generacija" je tukaj razvrščena na podlagi materialov, ki se uporabljajo v proizvodnji polprevodnikov.

Elektrostatični chuck (ESC), znan tudi kot elektrostatični chuck (ESC, E-Chuck), je vgradnja, ki uporablja načelo elektrostatične adsorpcije za držanje in pritrditev adsorbiranega materiala. Primerno je za vakuumsko in plazemsko okolje.