Kakšen je temperaturni gradient toplotnega polja ene same kristalne peči?

Kaj jetermično polje?

Temperaturno poljeEnojna kristalna rastse nanaša na prostorsko porazdelitev temperature v eni sami kristalni peči, znan tudi kot toplotno polje. Med kalcinacijo je porazdelitev temperature v toplotnem sistemu razmeroma stabilna, ki se imenuje statično toplotno polje. Med rastjo enega samega kristala se bo toplotno polje spremenilo, ki se imenuje dinamično toplotno polje.

Ko raste en sam kristal, zaradi neprekinjene transformacije faze (tekoča faza v trdno fazo) se trdna fazna latentna toplota neprekinjeno sprošča. Hkrati kristal postaja daljši in daljši, raven taline nenehno pada, toplotna prevodnost in sevanje pa se spreminjata. Zato se toplotno polje spreminja, ki se imenuje dinamično toplotno polje.

Kakšen je vmesnik za trdno-tekočino?

V določenem trenutku ima katera koli točka v peči določeno temperaturo. Če točke v prostoru povežemo z isto temperaturo v temperaturnem polju, bomo dobili prostorsko površino. Na tej prostorski površini je temperatura enaka povsod, ki ji pravimo izotermalna površina. Med izotermalnimi površinami v enojni kristalni peči je zelo posebna izotermalna površina, ki je vmesnik med trdno fazo in tekočo fazo, zato se imenuje tudi vmesnik trdno-likvid. Kristal raste iz vmesnika trdno-tekočine.

Kaj je temperaturni gradient?

Temperaturni gradient se nanaša na hitrost spremembe temperature točke A v toplotnem polju do temperature bližnje točke B. to je hitrost spreminjanja temperature znotraj enotne razdalje.

KdajEnojni kristalni silicijraste, v termičnem polju sta dve obliki trdne in se talijo, na voljo pa sta tudi dve vrsti temperaturnih gradientov:

▪ vzdolžni temperaturni gradient in radialni temperaturni gradient v kristalu.

▪ vzdolžni temperaturni gradient in radialni temperaturni gradient v talini.

▪ To sta dve popolnoma različni temperaturni porazdelitvi, vendar temperaturni gradient na vmesniku trdno-tekočine, ki lahko najbolj vpliva na stanje kristalizacije. Radialni temperaturni gradient kristala določa vzdolžna in prečna toplotna prevodnost kristala, površinsko sevanje in nov položaj v toplotnem polju. Na splošno je sredinska temperatura visoka, robna temperatura kristala pa nizka. Radialni temperaturni gradient taline določa predvsem grelniki okoli nje, zato je sredinska temperatura nizka, temperatura v bližini lončka je visoka, radialni temperaturni gradient pa je vedno pozitiven.

Ustrezna temperaturna porazdelitev toplotnega polja mora izpolnjevati naslednje pogoje:

▪ vzdolžni temperaturni gradient v kristalu je dovolj velik, vendar ne prevelik, da bi zagotovil dovolj zmogljivosti za odvajanje toplotekristalna rastodvzeti latentno toploto kristalizacije.

▪ Vzdolžni temperaturni gradient v talini je razmeroma velik, kar zagotavlja, da v talini ne nastanejo nova kristalna jedra. Če pa je prevelik, je enostavno povzročiti dislokacije in lomljenje.

▪ Vzdolžni temperaturni gradient na kristalizacijskem vmesniku je primerno velik, s čimer tvori potrebno podhranjevanje, tako da ima enojni kristal zadosten zagon rasti. Ne sme biti prevelika, sicer se bodo pojavile strukturne napake, radialni temperaturni gradient pa mora biti čim manjši, da bo vmesnik kristalizacije ravno.

Vetek Semiconductor je profesionalni kitajski proizvajalecSic kristalni rast poroznega grafita, Monokristalni vlečni lonček, Potegnite silicijev enojni kristalni jig, Lonček za monokristalni silicij, Cev, prevlečena s karbidom Tantalum za rast kristalov.  Vetek Semiconductor se zavezuje k zagotavljanju naprednih rešitev za različne izdelke SIC rezin za industrijo polprevodnikov.

Če vas zgornji izdelki zanimajo, vas prosimo, da nas kontaktirate neposredno.  

Mob: +86-180 6922 0752

WhatsApp: +86 180 6922 0752

E -pošta: anny@veteksemi.com