Grafitni suceptor s prevleko iz SiC za ASM ni le nadomestni del v sistemu epitaksije. Je procesno kritičen nosilec, ki vpliva na toplotno enakomernost, čistočo rezin, obstojnost prevleke, stabilnost komore in dolgoročne proizvodne stroške.
CVD TaC Coating Cover ni samo zaščitni pokrov ali prevlečena grafitna komponenta. Pri visokotemperaturnih polprevodniških procesih lahko vpliva na čistočo komore, toplotno stabilnost, življenjsko dobo delov in konsistentnost procesa.
Piškotke uporabljamo, da vam ponudimo boljšo izkušnjo brskanja, analiziramo promet na spletnem mestu in prilagodimo vsebino. Z uporabo te strani se strinjate z našo uporabo piškotkov.Politika zasebnosti