Kaj je prevleka Tantalum Carbide TAC? - Vetkeksemin

Kaj je Tantalum karbid (TAC)?

Keramični material Tantalum Carbide (TAC) ima tališče do 3880 ℃ in je spojina z visoko tališče in dobro kemično stabilnostjo. Ohranja lahko stabilno delovanje v visokotemperaturnih okoljih. Poleg tega ima tudi visoko temperaturno odpornost, kemično korozijsko odpornost ter dobro kemično in mehansko združljivost z ogljikovimi materiali, zaradi česar je idealen grafitni material za zaščitno prevleko. 

Tantalum karbidni premazlahko učinkovito zaščitijo grafitne komponente pred učinki vročega amoniaka, vodika, silicijeve hlape in staljene kovine v ostri uporabi, kar bistveno podaljša življenjsko dobo grafitnih komponent in zavira migracijo nečistoč v grafituepitaksialniinkristalna rast.

Slika 1. Običajne komponente, prevlečene s Tantalum karbidom

Priprava TAC prevleke s postopkom CVD

Kemična nalaganje hlapov (CVD) je najbolj zrela in optimalna metoda za proizvodnjo TAC prevlek na grafitnih površinah.

Uporaba tacl5 in propilena kot virov ogljika in tantaluma ter argona kot nosilnega plina se v reakcijsko komoro vnese visokotemperaturna hlapana hlapa. Pri ciljni temperaturi in tlaku adsorbira predhodni material na površini grafita, ki je podvržen niz zapletenih kemičnih reakcij, kot so razgradnjo in kombinacija virov ogljika in tantaluma, pa tudi niz površinskih reakcij, kot sta difuzija in desorpcija stranskih produktov predhodnika. Končno se na površini grafita oblikuje gosta zaščitna plast, ki ščiti grafit pred stabilnim obstojem v ekstremnih okoljskih pogojih in znatno razširi scenarije uporabe grafitnih materialov.

Figure 2. Načelo procesa kemičnega odlaganja hlapov (CVD)

Če želite več informacij o načelih in postopku priprave CVD TAC prevleke, glejte članek:Kako pripraviti CVD TAC prevleko?

Zakaj izbrati Veteksemicon?

SemiconV glavnem ponuja izdelke iz karbide Tantalum: TAC Guide Ring, TAC prevlečen s tremi cvetnimi obroči,TAC prevleka za prevleko, Tac prevleka Porozni grafit se pogosto uporablja, je postopek rasti kristala SIC; Porozni grafit s TAC prevlečenim, vodnim obročem, prevlečenim s TAC,TAC prevlečena z grafitnim nosilnikom, TAC prevleka za prevleke,Planetarni obspevnik, In ti izdelki za prevleko s karbidnim nanosom se pogosto uporabljajoPostopek sic epitaxyinProces rasti sic enojnega kristala.

Slika 3.VeterinarEK Semiconductor's najbolj priljubljeni izdelki Tantalum karbide