Sic prevlečen planetarni obspešnik

Planetarni obstreznik, prevlečen s sic, je planetarni nosilec, prevlečen zSilicijev karbid (sic), ki se uporablja predvsem v postopkih odlaganja polprevodniških materialov, kot so kovinsko-organsko kemično nalaganje hlapov (MOCVD), molekularna epitaksija (MBE) itd. Njegova glavna funkcija je prenos in vrtenje rezin, da se zagotovi enotnost materiala in konsistenco toplotnega polja med postopkom odlaganja. Njegova glavna funkcija je prenašati in vrteti rezine, da se zagotovi materialno enakomernost in konsistentnost toplotnega polja med odlaganjem, SiC prevlekarentaobdelava.

Osnovni scenariji uporabe za planetarni obstreznik, prevlečeni

MOCVD Epitaxial Rast procesa

V postopku MOCVD se planetarni obstreznik, prevlečen s SiC, uporablja predvsem za prevoz rezin silicija (SI), silicijevega karbida (SIC), galijevega nitrida (GAN), galijevega arsenida (GAAS) in drugih materialov.

● Funkcionalne zahteve: Natančno pozicioniranje in sinhronizirano vrtenje rezin, da se zagotovi enakomerna porazdelitev materialov, ki se nanašajo na hlape na površini rezin in izboljšajo enakomernost debeline in sestave filma.

● Prednost: SIC prevleke so zelo odporne proti koroziji in zdržijo erozijo visoko reaktivnih kovinsko-organskih prekurzorjev, kot sta trimetilgalij (TMGA) in trimetilindij (Tmin), kar podaljša življenjsko dobo.

Izdelava napajalnih naprav iz silicijevega karbida (SIC)

Planetarni obspevnik, prevlečen s sic, se pogosto uporablja pri epitaksialni rasti naprav SIC, kot so MOSFET, IGBT, SBD in druge naprave.

● Funkcionalne zahteve: Zagotovite stabilno platformo za toplotno izravnavo v visokotemperaturnih okoljih, da zagotovite kakovost kristalizacije epitaksialne plasti in nadzor napak.

● Prednost: SIC prevleke so odporne na visoko temperaturo (> 1600 ° C) in imajo koeficient toplotne ekspanzije (4,0 × 10^-6 K^-1) blizu kot pri silicijevih karbidnih reziščih, kar učinkovito zmanjšuje toplotne napetosti in izboljšuje kakovost in stabilnost epitaksialnega sloja.

Globoko ultravijolični (DUV) in ultravijolični LED Epitaxial Manufacturing

Planetarni obstreznik, prevlečen s sic, je primeren za epitaksialno rast materialov, kot sta galijev nitrid (GAN) in aluminijev galijev nitrid (Algan), in se pogosto uporablja pri proizvodnji UV-led in mikro LED.

● Funkcionalne zahteve: Ohranite natančen nadzor temperature in enakomerno porazdelitev pretoka zraka, da se zagotovi natančnost valovne dolžine in zmogljivost naprave.

● Prednost: Visoka toplotna prevodnost in oksidacijska odpornost omogočata odlično stabilnost pri visokih temperaturah v dolgih obdobjih delovanja, kar pomaga izboljšati svetlobno učinkovitost in konsistenco LED čipov.

Izberite Vekemicon

Planetarni planetarni obspešnik, prevlečen s Sic, je pokazal nenadomestljive prednosti v visokih temperaturnih, korozivnih polprevodniških proizvodnih okoljih s svojimi edinstvenimi lastnostmi materiala in mehansko zasnovo. In naši glavni planetarni izdelki za občutek so sic planetarni obspešnik,Planetarni obspevnik ALD, Planetarni obspevnik Tac prevlekain tako naprej. Hkrati se Veekemicon zavezuje k zagotavljanju prilagojenih izdelkov in tehničnih storitev polprevodniški industriji. Iskreno se veselimo, da bomo vaš dolgoročni partner na Kitajskem.