Guide Guide TAC prevleka

VeTek Semiconductor je profesionalni kitajski proizvajalec in dobavitelj vodilnega obroča za premaz TaC, lončka za premaz TaC, držala za semena.

Lonček za prevleko TaC, držalo za seme in vodilni obroč za prevleko TaC v enokristalni peči na SiC in AIN so gojili z metodo PVT.

Ko se za pripravo SiC uporablja metoda fizičnega prenosa hlapov (PVT), je zarodni kristal v območju relativno nizke temperature, surovina SiC pa je v območju relativno visoke temperature (nad 2400 ℃). Pri razgradnji surovine nastane SiXCy (večinoma Si, SiC₂, Si₂C itd.). Material parne faze se transportira iz visokotemperaturnega območja v zarodni kristal v nizkotemperaturnem območju ter nastaja in raste. Da nastane en kristal. Materiali toplotnega polja, uporabljeni v tem procesu, kot so lonček, obroč za usmerjanje toka, držalo kristalov za seme, morajo biti odporni na visoke temperature in ne bodo onesnaževali surovin SiC in monokristalov SiC. Podobno morajo biti grelni elementi pri rasti monokristalov AlN odporni na hlape Al, N₂ korozijo in morajo imeti visoko evtektično temperaturo (in AlN), da skrajšajo obdobje priprave kristalov.

Ugotovljeno je bilo, da sta sic in ALN, ki sta jih pripravili s TAC prevlečenim grafitnim toplotnim poljskim materialom, čistejši, skoraj brez ogljika (kisik, dušik) in druge nečistoče, manj okvare robov, manjša upornost v vsaki regiji ter gostota mikropore in gostota jamec. znatno zmanjšano (po jedkanju Koh) in kakovost kristala se je močno izboljšala. Poleg tega je hitrost izgube teže TAC skoraj nič, videz je nedestruktiven, lahko recikliramo (življenjsko do 200h), lahko izboljša trajnost in učinkovitost takšne enojne kristalne priprave.

Parameter izdelka TAC Guide Guide Ring:

Proizvodne trgovine:

Pregled industrijske verige polprevodniških čipov Epitaxy: