TAC prevleka podrejena

VETEK SEMUNTUNCORTOV TAC prevlečenega obvladovalca inTac prevlečenprstanSkupaj v reaktorju epitaksialnega rastnega reaktorja silicijevega karbida LPE:

● Visokotemperaturna odpornost:Tac prevlekaObstreznik ima odlično visokotemperaturno odpornost, ki lahko prenese ekstremne temperature do 1500 ° C vLPE reaktor. To zagotavlja, da se oprema in komponente med dolgoročnim delovanjem ne deformirajo ali poškodujejo.

● Kemična stabilnost: Občutek TAC prevleke izjemno dobro deluje v korozivnem okolju rasti silicijevega karbida, kar učinkovito zaščiti komponente reaktorja pred korozivnim kemičnim napadom in s tem podaljša življenjsko dobo njihove storitve.

● Termična stabilnost: Občutek TAC prevleke ima dobro toplotno stabilnost, ohranja površinsko morfologijo in hrapavost, da se zagotovi enakomernost temperaturnega polja v reaktorju, kar je koristno za kakovostno rast epitaksialnih plasti silicijevega karbida.

● proti kontaminaciji: Gladka površinska površina in vrhunska učinkovitost TPD (temperaturno programirano desorpcijo) lahko zmanjšajo kopičenje in adsorpcijo delcev in nečistoč znotraj reaktorja, kar preprečuje kontaminacijo epitaksialnih plasti.

Če povzamemo, imata obloženec in obroč TAC kritično zaščitno vlogo v epitaksialnem rastnem reaktorju silicijevega karbida LPE, kar zagotavlja dolgoročno stabilno delovanje opreme in kakovostno rast epitaksialnih plasti.