Obroč za prevleko TAC

Obroč za prevleko TAC v Semiconductorju Vetek je izdelan iz visokokakovostnega grafita in prevlečen s Tantalum karbidom (TAC), materialom, znanim po svojih vrhunskih lastnostih, je nepogrešljiva komponenta pri obdelavi polprevodniških rezin.

Ključne lastnosti in prednosti VeTek polprevodniškega TaC prevlečnega obroča:

● Visoka toplotna stabilnost: Ena od izstopajočih lastnosti tantalovega karbidnega prevlečnega obroča je njegova sposobnost, da prenese visoke temperature, kar je ključni dejavnik pri jedkanju polprevodnikov. Postopek jedkanja SiC vključuje izpostavljenost povišanim temperaturam in reaktivnim plinom, prevleka iz tantalovega karbida pa zagotavlja, da obroč ostane stabilen in ohrani svojo strukturno celovitost tudi v teh težkih pogojih. Ta toplotna odpornost zagotavlja, da komponenta še naprej optimalno deluje v daljših obdobjih.

●  Izboljšana mehanska trdnost: Kombinacija visoko trdnega grafita in prevleke iz TaC ima za posledico komponento z izboljšanimi mehanskimi lastnostmi, zaradi česar je obroč s prevleko iz TaC zelo odporen proti obrabi. Njegova mehanska trdnost je ključnega pomena pri trdnem držanju rezin SiC na mestu, zagotavljanju natančnega jedkanja in preprečevanju kakršne koli deformacije med postopkom.

●  Odpornost proti kemični koroziji: V polprevodniških procesih, kot je jedkanje sic, so komponente pogosto izpostavljene agresivnim kemikalijam in reaktivnim plinom. Tantalum karbidni premaz zagotavlja odlično zaščito pred korozijo, kar znatno podaljša življenjsko dobo obroča in zmanjšuje potrebo po pogostih zamenjavah. Ta odpornost je še posebej pomembna v procesu jedkanja, kjer so komponente v stalnem stiku s kemično reaktivnimi snovmi.

●  Vrhunski premazi CoatiTaC za izboljšano učinkovitost: Prevleka iz tantalovega karbida na grafitnem obroču zagotavlja robustno površino, ki izboljša splošno delovanje komponente. Tantalov karbid je znan po visokem tališču (približno 3.880 °C) in odlični odpornosti na kemične reakcije, zlasti v agresivnih okoljih, ki se običajno pojavljajo med procesi izdelave polprevodnikov. Ta prevleka iz tantalovega karbida bistveno izboljša življenjsko dobo izdelka in zagotavlja vrhunsko vzdržljivost v primerjavi z neprevlečenimi grafitnimi obroči.

●  Izboljšana mehanska trdnost: Kombinacija visoko trdnega grafita in prevleke iz TaC ima za posledico komponento z izboljšanimi mehanskimi lastnostmi, zaradi česar je obroč s prevleko iz TaC zelo odporen proti obrabi. Njegova mehanska trdnost je ključnega pomena pri trdnem držanju rezin SiC na mestu, zagotavljanju natančnega jedkanja in preprečevanju kakršne koli deformacije med postopkom.

VeTek Semiconductor je kot vodilni dobavitelj, proizvajalec in tovarna prevlečnih obročev TaC na Kitajskem že dolgo zavezan zagotavljanju naprednih izdelkov prevlečnih obročev TaC in tehničnih rešitev za predelovalno industrijo polprevodnikov ter podpira prilagojene storitve izdelkov. VeTekSemi se iskreno veseli, da bo postal vaš dolgoročni partner na Kitajskem.

Fizikalne lastnosti TAC prevleke

Trgovine z izdelki za obroče za prevleko TaC polprevodnika VeTek