8-palčni CVD zgornji obroč s prevleko iz silicijevega karbida (SiC).

Ključne značilnosti 8-palčnega SiC Epi Top Ring

● Visoka čistost: najmanj 99,9995 %. Kovina ne bo migrirala v epi-plast. To ohranja koncentracijo nosilca rezin tam, kjer mora biti.

● Zatiranje delcev: struktura CVD je gosta. Brez por. Med delovanjem orodja ne oddaja delcev. Tovarne tako vidijo boljše donose.

● Toplotna odpornost: obroč ostane stabilen pri 1500°C. Nizka CTE (toplotna ekspanzija) pomeni, da med hitrimi cikli segrevanja/ohlajanja ni deformacij.

● Kemijska stabilnost: trdni CVD SiC je odporen na pline H2 in HCl. Odporen je tudi na NH3. Nima premaza za lupljenje. Ne razgradi se v težkih CVD okoljih.

● Življenjska doba komponente: površina je izjemno trda. Preživi večkratno kemično čiščenje s HF/HCl. To zmanjša pogostost zamenjave. Znižuje tudi skupne stroške lastništva tovarne.

Tehnične specifikacije

Enakomernost debeline premaza med serijami je nadzorovana pri 10 um

Aplikacije

CVD SiC epi top obroč se pogosto uporablja v:

● Silicijeva epitaksija (Si Epi) reaktorji

● Silicijev karbidni epitaksija (SiC Epi)

● Sistemi MOCVD

● Oprema za nanašanje CVD

Običajno v kombinaciji z:

● Susceptorji

● Nosilci za rezine

● Predgrejte obroče

● Epitaksi reaktorji

Zakaj izbrati VETEK SiC Epi Top Ring?

● Popolna proizvodna zmogljivost: 

Od čiščenja surovin do natančne strojne obdelave in nanosa CVD, VETEK nadzira celoten proizvodni proces, da zagotovi dosledno kakovost polprevodnikov.

● Visoka natančnost: 

Uporabljamo obdelavo na mikronski ravni. Debelina CVD je zelo enotna. Zaradi tega vsak prstan deluje popolnoma enako.

pogosta vprašanja

(1) Kaj počne SiC epi top obroč?

Obroč upravlja pretok toplote in plina. Poskrbi, da se tanek film enakomerno razraste po rezini.

(2) Zakaj je CVD SiC boljši od grafita?

Grafit je porozen. Grafit ima pore in sprošča plin. Trden CVD SiC je gost in čist. V korozivnih orodjih zdrži veliko dlje.

(3). Ali je mogoče 8-palčni zgornji obroč SiC prilagoditi?

ja Gradimo po vaših specifičnih risbah orodja. Geometrijo lahko prilagodimo glede na vaš proces.

(4). Katere industrije uporabljajo SiC epitaksijske obroče?

Uporabljajo se predvsem v proizvodnji polprevodnikov, vključno z močnostnimi napravami, RF napravami in proizvodnjo rezin SiC.