Aixtron G5+ stropna komponenta

Gallijev nitrid (GAN) je širok polprevodniški material z odličnimi fizikalnimi lastnostmi, kot so visoka mobilnost elektronov, električno polje z visoko razpadom in hitrost elektrona z visoko nasičenostjo. Široko se uporablja v optoelektronskih napravah (na primer svetlobne diode, laserske diode) in visokofrekvenčne elektronske naprave z visoko močjo (kot so ojačevalniki moči). Silicij (SI) je pogosto uporabljen polprevodniški substratni material s prednosti nizkih stroškov, velike velikosti in združljivosti z obstoječimi procesi integriranega vezja na osnovi silicija. Zato je gojenje epitaksialnih plasti GAN na SI zelo dragocena raziskovalna tema. Serija Aixtron G5+ je ena najbolj vročih GAN epitaksialne opreme GAN, ki ima trenutno veliko pomembnih sestavnih delov, stropna komponenta pa je ena izmed pomembnih komponent.

Stropna komponenta Aixtron G5+ je narejena iz SGL grafita. Glavna funkcija je nadzor temperature in zagotavljanje najnižjega toplotnega toka skozi rezino.

 ●Nadzor nad temperaturo: 

Stropna komponenta Aixtron G5+ pomaga doseči enakomerno porazdelitev temperature v celotni reakcijski komori. V polprevodniškem procesu epitaksialne rasti je temperaturna enakomernost ključnega pomena za rast visokokakovostnih epitaksialnih plasti. Zagotavlja, da je mogoče dobiti isto površinsko temperaturo na vseh reziščih ali satelitskih komponentah, s čimer zagotovite skladnost hitrosti rasti in kakovosti epitaksialnega materiala na vseh lokacijah, s čimer se izboljša donos procesa.

 ● Optimizirajte okolje za rast: 

Kot del reakcijske komore Aixtron G5+ stropna komponenta tvori stabilno rastno okolje skupaj z drugimi komponentami. Lahko zmanjša izgubo toplote in temperatura v reakcijski komori naredi bolj stabilno, kar je ugodno za natančno nadzor pogojev za epitaksialno rast in zmanjšanje napak v epitaksialni plasti in neenakomernosti učinkovitosti, ki jih povzročajo temperaturna nihanja.

Aixtron G5+ stropna komponenta je eden izmed glavnih izdelkov v industriji, ki ga je predstavil Vetek Semiconductor. Izbira Vetek Semiconductor pomeni partnerstvo s podjetjem, ki se zavezuje k potiskanju meja inovacije silicijevega karbida. Z močnim poudarkom na kakovosti, uspešnosti in zadovoljstvu strank zagotavljamo izdelke, ki ne le izpolnjujejo, ampak presegajo stroge zahteve polprevodniške industrije. Pomagajte vam doseči večjo učinkovitost, zanesljivost in uspeh pri delovanju z našimi naprednimi rešitvami Aixtron G5+ stropne komponente.

Materialni podatki iz grafita SGL 6510:

To polprevodnikTrgovine z izdelki Aixtron G5+ stropne komponente