Aixtron satelitski nosilec rezin

Satelitski nosilec Aixtron je sestavni del opreme Aixtron MOCVD, ki se posebej uporablja za prenos rezin za epitaksialno rast. Je še posebej primeren zaEpitaksialna rastProces naprav GAN in Silicon karbide (SIC). Njegova edinstvena "satelitska" zasnova ne zagotavlja le enotnosti pretoka plina, ampak tudi izboljša enotnost odlaganja filma na površini rezin.

Aixtron'sNosilci rezinso običajno narejeni izSilicijev karbid (sic)ali grafit, prevlečen s CVD. Med njimi ima silicijev karbid (SIC) odlično toplotno prevodnost, visoko temperaturno odpornost in nizki koeficient termične ekspanzije. Grafit, prevlečen s CVD, je grafit, prevlečen s filmom silicijevega karbida s postopkom kemičnega nalaganja hlapov (CVD), ki lahko poveča njegovo korozijsko odpornost in mehansko trdnost. SIC in prevlečeni grafitni materiali lahko zdržijo temperature do 1.400 ° C - 1.600 ° C in imajo odlično toplotno stabilnost pri visokih temperaturah, kar je ključnega pomena za postopek epitaksialne rasti.

Aixtron satelitski nosilec rezin se uporablja predvsem za nošenje in vrtenje rezin vProces MOCVDZa zagotovitev enakomernega pretoka plina in enakomernega odlaganja med epitaksialno rastjo.Posebne funkcije so naslednje:

● vrtenje rezin in enakomerno odlaganje: Z vrtenjem satelitskega nosilca Aixtron lahko rezina vzdržuje stabilno gibanje med epitaksialno rastjo, kar omogoča, da plin enakomerno teče po površini rezin, da se zagotovi enakomerno odlaganje materialov.

● Visoko temperaturno ležaj in stabilnost: Silicijev karbid ali prevlečeni grafitni materiali lahko prenesejo temperature do 1.400 ° C - 1.600 ° C. Ta značilnost zagotavlja, da se rezina med visokotemperaturno epitaksialno rastjo ne bo deformirala, hkrati pa preprečila, da bi toplotna širitev samega nosilca vplivala na epitaksialni proces.

● Zmanjšana nastajanje delcev: Kakovostni nosilni materiali (kot je SIC) imajo gladke površine, ki zmanjšujejo nastajanje delcev med odlaganjem hlapov in s tem zmanjšajo možnost kontaminacije, ki je ključnega pomena za proizvodnjo visoko kakovostnih polprevodniških materialov.

Satelitski nosilec Aixtron Aixtron VETEKSEMICON je na voljo v 100 mm, 150 mm, 200 mm in celo večjih velikostih rezin in lahko nudi prilagojene storitve izdelkov na podlagi vaše opreme in postopkov. Iskreno upamo, da bo vaš dolgoročni partner na Kitajskem.

SEM podatki CVD SIC filmske kristalne strukture：

Trgovine s satelitskimi rezinami aixtron: