Novice

Kaj je CVD TAC prevleka? - Vetekkemi

Kot vsi vemo,Tantalum karbid (TAC)ima tališče do 3880 ° C, visoka mehanska trdnost, trdota, odpornost na toplotne udarce; dobra kemična inertnost in toplotna stabilnost na amoniak, vodik, hlape, ki vsebujejo silicij, pri visokih temperaturah.

Tantalum carbide coating on a microscopic cross-section picture

Prevleka za karbide Tantalum na mikroskopskem prerezu


CVD TAC premaz, Kemična odlaganje hlapov (CVD)prevleka Tantalum karbide (TAC), je postopek za oblikovanje visoko gostote in obstojne prevleke na podlagi (običajno grafit). Ta metoda vključuje nanašanje TaC na površino podlage pri visokih temperaturah, kar ima za posledico prevleko z odlično termično stabilnostjo in kemično odpornostjo.


Glavne prednosti CVD TAC prevleke vključujejo:


● Izjemno visoka toplotna stabilnost: Tantalum karbidni premaz lahko prenese temperature, ki presegajo 2200 ° C.


● Kemična odpornost: KVB TAC prevleka se lahko učinkovito upira ostrim kemikalijam, kot so vodik, amonijak in silicijeva para.


● Močna oprijem: TaC premaz zagotavlja dolgotrajno zaščito brez razslojevanja.


● Visoka čistost: Zmanjša nečistoče, zaradi česar je idealna za polprevodniške aplikacije.


Fizikalne lastnosti prevleke iz tantalovega karbida
Gostota tac prevleke
14,3 (g/cm³)
Specifična emisijska sposobnost
0.3
Koeficient toplotne ekspanzije
6,3*10-6/K
Trdota prevleke (HK)
2000 HK
Odpornost
1×10-5Ohm*cm
Toplotna stabilnost
<2500 ℃
Spremembe velikosti grafita
-10~-20um
Debelina nanosa
≥20um tipična vrednost (35um ± 10um)


Ti prevleki so še posebej primerni za okolje, ki zahtevajo visoko vzdržljivost in odpornost proti ekstremnim razmeram, kot so polprevodniška proizvodnja in visokotemperaturni industrijski procesi.


V industrijski proizvodnji, grafit (Ogljikov-ogljik kompozit) Materiali, prevlečeni s TAC prevleko, bodo verjetno nadomestili tradicionalni grafit z visoko čistočo, prevleko PBN, dele sic prevleke itd. Poleg tega ima na področju vesoljskega vesolja velik potencial, da se lahko uporabi kot visokotemperaturna antioksidacija in premaz proti ublažitvi in ​​ima široke možnosti uporabe. Vendar pa še vedno obstaja veliko izzivov za pripravo goste, enotne, neplačne TAC prevleke na površini grafita in spodbujajo proizvodnjo industrijske mase.


V tem procesu je raziskovanje zaščitnega mehanizma prevleke, inoviranje proizvodnega procesa in tekmovanje z najvišjo tujo raven ključnega pomena za tretjo generacijoRast in epitaksija polprevodnikov.




Vetek Semiconductor je profesionalni kitajski proizvajalec izdelkov CVD Tantalum Carbide, naša čistost TAC pa je pod 5ppm, lahko ustreza zahtevam kupcev. Izdelki za prevleko z prevleko v Veeksemi CVD TAC CVD TAC prevleka za prevleko, CVD TAC prevleka za prevleke, CVD TAC prevlekaCVD TaC Coating Cover,  CVD TaC prevlečni obroč. VeTek Semiconductor je zavezan zagotavljanju naprednih rešitev za različne premazne izdelke za industrijo polprevodnikov. VeTek Semiconductor iskreno upa, da bo postal vaš dolgoročni partner na Kitajskem.


VeTek CVD TaC Coating CarrierVETEK CVD TaC Coating CoverVETEK CVD TaC Coating Crucible

VETEK CVD TaC Coating RingVETEK CVD TaC Coating Wafer CarrierCVD TAC Coating PARTS


Če imate kakršna koli vprašanja ali potrebujete dodatne podrobnosti, ne oklevajte in stopite v stik z nami.

Mob/Whatsapp: +86-180 6922 0752

E -pošta: anny@veteksemi.com

Povezane novice
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept