Deli sprejemnika EPI

Splošne informacije o izdelku

Poslovni pogoji izdelkov

✔ Aplikacija: V iskanju končne zmogljivosti in izkoristka v epitaksialnih postopkih SiC Veteksemicon EPI Susceptor zagotavlja odlično toplotno stabilnost in enotnost ter tako postane ključna podpora za izboljšanje zmogljivosti napajalnih in RF naprav ter zmanjšanje skupnih stroškov.

✔ Storitve, ki jih je mogoče zagotoviti: analiza scenarijev aplikacij strank, ujemanje materialov, reševanje tehničnih problemov. 

✔ Profil podjetja：Veteksemicon ima 2 laboratorija, ekipo strokovnjakov z 20-letnimi materialnimi izkušnjami, z zmogljivostmi raziskav in razvoja ter proizvodnje, testiranja in preverjanja.

Moj tekmec EPI Contractor Part osnovne prednosti

1. Zagotovite popolno enotnost

V epitaksialnih postopkih silicijevega karbida celo mikronska nihanja debeline in dopirne nehomogenosti neposredno vplivajo na zmogljivost in izkoristek končne naprave. Veteksemicon EPI Susceptor doseže optimalno porazdelitev toplotnega polja v reakcijski komori z natančno termodinamično simulacijo in konstrukcijsko zasnovo. Naš izbor substrata z visoko toplotno prevodnostjo v kombinaciji z edinstvenim postopkom površinske obdelave zagotavlja, da so temperaturne razlike na kateri koli točki na površini rezine nadzorovane v izjemno majhnem obsegu, tudi pri vrtenju z visoko hitrostjo in v okoljih z visoko temperaturo. Neposredna vrednost, ki jo to prinaša, je visoko ponovljiva epitaksialna plast od serije do serije z odlično enakomernostjo, ki postavlja trdne temelje za proizvodnjo visoko zmogljivih, zelo doslednih močnostnih čipov.

2. Upiranje izzivom visokih temperatur

SiC epitaksialni procesi običajno zahtevajo dolgotrajno delovanje pri temperaturah nad 1500 °C, kar predstavlja resen izziv za kateri koli material. Veteksemicon Susceptor uporablja posebej obdelan izostatično stisnjen grafit, katerega visokotemperaturna upogibna trdnost in odpornost proti lezenju daleč presegata običajni grafit. Tudi po več sto urah neprekinjenega visokotemperaturnega toplotnega cikla naš izdelek ohrani svojo začetno geometrijo in mehansko trdnost, s čimer učinkovito preprečuje zvijanje rezin, zdrs ali tveganje kontaminacije procesnih votlin zaradi deformacije pladnja, kar v osnovi zagotavlja kontinuiteto in varnost proizvodnih dejavnosti.

3. Povečajte stabilnost procesa

Prekinitve proizvodnje in nenačrtovano vzdrževanje so glavni ubijalci stroškov v proizvodnji rezin. Veteksemicon meni, da je stabilnost procesa ključna metrika za Susceptor. Naš patentirani CVD SiC premaz je gost, neporozen in ima zrcalno gladko površino. To ne le znatno zmanjša odvajanje delcev pod visokotemperaturnim zračnim tokom, ampak tudi znatno upočasni oprijem reakcijskih stranskih produktov (kot je polikristalni SiC) na površino pladnja. To pomeni, da lahko vaša reakcijska komora ostane čista dlje časa, s čimer se podaljšajo intervali med rednim čiščenjem in vzdrževanjem, s čimer se izboljša splošna izkoriščenost opreme in pretok.

4. Podaljšajte življenjsko dobo

Pogostost menjave suceptorjev kot potrošnega materiala neposredno vpliva na stroške proizvodnje. Veteksemicon podaljšuje življenjsko dobo izdelka z dvojnim tehnološkim pristopom: "optimizacija substrata" in "izboljšanje premaza". Grafitna podlaga z visoko gostoto in nizko poroznostjo učinkovito upočasni prodiranje in korozijo podlage s procesnimi plini; hkrati pa naša debela in enakomerna SiC prevleka deluje kot robustna pregrada, ki bistveno zavira sublimacijo pri visokih temperaturah. Testiranje v resničnem svetu kaže, da pod enakimi procesnimi pogoji izkazujejo suceptorji Veteksemicon počasnejšo stopnjo poslabšanja zmogljivosti in daljšo učinkovito življenjsko dobo, kar ima za posledico nižje operativne stroške na rezino.

5. Potrditev preverjanja ekološke verige

Preverjanje ekološke verige Veteksemicon EPI Susceptor Part zajema surovine do proizvodnje, opravilo je certificiranje mednarodnih standardov in ima številne patentirane tehnologije, ki zagotavljajo njegovo zanesljivost in trajnost na področjih polprevodnikov in nove energije.

Za podrobne tehnične specifikacije, bele knjige ali dogovore o testiranju vzorcev se obrnite na našo ekipo za tehnično podporo, da raziščete, kako lahko Veteksemicon poveča učinkovitost vašega procesa.

Glavna področja uporabe

Skladišče izdelkov Moj tekmec