MOCVD SiC prevlečen susceptor

Tehnični parametri

CVD SIC FILMA KRISTALNA STRUKTURA

Opredelitev in sestava izdelka

VETEK MOCVD SiC Coated Susceptor je vrhunska komponenta za nošenje rezin, zasnovana posebej za epitaksialno obdelavo polprevodnikov tretje generacije, kot sta GaN in SiC. Ta izdelek združuje vrhunske fizikalne lastnosti dveh visokozmogljivih materialov:

Grafitna podlaga visoke čistosti: Izdelano s tehnologijo izostatičnega stiskanja, ki zagotavlja, da ima osnovni material izjemno strukturno celovitost, visoko gostoto in stabilnost pri termični obdelavi.

CVD SiC prevleka: Gosta zaščitna plast iz silicijevega karbida (SiC) brez napetosti je zrasla na površini grafita z napredno tehnologijo kemičnega naparjevanja (CVD).

Zakaj je VETEK vaše jamstvo za donos

Vrhunska natančnost pri nadzoru toplotne enakomernosti: Za razliko od običajnih nosilcev, VETEK suceptorji dosegajo visoko sinhroniziran prenos toplote po celotni površini z nanometrsko natančnostjo nadzora debeline premaza in toplotne odpornosti. To sofisticirano upravljanje toplote učinkovito zmanjša standardno odstopanje valovne dolžine (STD) na površini rezin, s čimer znatno izboljša tako kakovost posamezne rezine kot celotno konsistenco serije.

Dolgoročna zaščita brez kontaminacije z delci: V reakcijskih komorah MOCVD, ki vsebujejo zelo korozivne pline, so navadni grafitni podstavki nagnjeni k luščenju delcev. VETEK-ov CVD SiC premaz ima izjemno kemično inertnost, saj deluje kot neprebojen ščit, ki tesni grafitne mikropore. To zagotavlja popolno izolacijo substratnih nečistoč in preprečuje kakršno koli kontaminacijo epitaksialnih plasti GaN ali SiC.

Izjemna odpornost proti utrujenosti in življenjska doba:Zahvaljujoč VETEK-ovemu lastniškemu postopku obdelave vmesnikov, naša SiC prevleka doseže optimizirano ujemanje toplotnega raztezanja z grafitno podlago. Tudi pri visokofrekvenčnem termičnem kroženju med ekstremnimi temperaturami premaz ohranja odličen oprijem brez luščenja ali razvoja mikrorazpok. To znatno zmanjša pogostost vzdrževanja rezervnih delov in zniža vaše skupne stroške lastništva.

Naša delavnica