Novice

Izhlapevanje elektronskih snopov je zelo učinkovita in široko uporabljena metoda prevleke v primerjavi z odpornim segrevanjem, ki segreva izhlapevalni material z elektronskim žarkom, zaradi česar se izhlapi in kondenzira v tanek film.

Vakuumsko prevleko vključuje izhlapevanje filmskega materiala, transport vakuuma in rast tankih filmov. Glede na različne metode izhlapevanja filmskega materiala in postopki prevoza lahko vakuumsko prevleko razdelimo v dve kategoriji: PVD in CVD.

Ta članek opisuje fizične parametre in značilnosti izdelka poroznega grafita Vetek Semiconductor, pa tudi njegove posebne aplikacije pri polprevodniškem obdelavi.