Novice

Med postopkom epitaksialne rasti SiC lahko pride do okvare grafitne suspenzije, prevlečene s SiC. Ta članek izvaja natančno analizo pojava okvare grafitne suspenzije, prevlečene s SiC, ki vključuje predvsem dva dejavnika: okvaro epitaksialnega plina SiC in okvaro prevleke SiC.

Ta članek obravnava predvsem prednosti postopka in razlike v procesu epitaksije molekulskih žarkov in tehnologij za odlaganje kemičnih hlapov na kovino.

Porozni karbid Vetek Semiconductor, kot nova generacija materiala za kristalno rast SiC, ima veliko odličnih lastnosti izdelkov in ima ključno vlogo pri različnih tehnologijah za polprevodniško obdelavo.