PZT piezoelektrične rezine (PZT na Si/SOI)

1. Tehnična arhitektura

Naše rezine imajo prefinjeno večplastno strukturo skladov, ki je zasnovana tako, da zagotavlja optimalno oprijemljivost, prevodnost in piezoelektrični odziv med kompleksno obdelavo MEMS:

 ●Zgornja elektroda (ključna plast): Pt (platina).

● Piezo sloj (jedrni sloj): PZT.

● Vmesne plasti: Vključuje vmesni sloj, spodnjo elektrodo in adhezijski sloj za optimizacijo orientacije zrn in strukturne stabilnosti.

● Substrat: Združljivo s Si ali SOI rezinami.

2. Zagotavljanje kakovosti in analiza mikrostrukture

Visoko zanesljivost zagotavljamo s strogimi tehničnimi karakterizacijami:

 ●Analiza SEM: Slike z vrstično elektronsko mikroskopijo (SEM) razkrivajo gosto površinsko morfologijo brez razpok z enakomerno porazdelitvijo velikosti zrn, idealno za visoko zanesljive aplikacije MEMS.

 ●XRD karakterizacija: Vzorci rentgenske difrakcije (XRD) potrjujejo tvorbo čiste perovskitne faze z močno (100) prednostno orientacijo, kar zagotavlja največje koeficiente piezoelektrične učinkovitosti.

3. Tehnične specifikacije (karakteristike)

4. Osnovne aplikacije

 ● Piezoelektrični mikrostrojni ultrazvočni pretvorniki (pMUT): Visokofrekvenčni miniaturizirani nizi za senzorje prstnih odtisov, prepoznavanje kretenj in avtomobilski ultrazvočni radar.

 ● Komunikacija: Ključ za izdelavo filtrov FBAR ali SAW v 5G/6G za doseganje širše pasovne širine in manjše vstavljene izgube.

 ● Akustični MEMS: Zagotavlja močan prehodni odziv za zvočnike MEMS in izboljša razmerje med signalom in šumom (SNR) za mikrofone MEMS.

 ● Precision Fluid Control: Vibriranje visoke hitrosti prek načina d31 za nanolitrski natančen nadzor količine kapljic v brizgalnih tiskalnih glavah.

 ● Medicina in lepota (mikročrpanje): Poganja medicinske nebulatorje ali kozmetične ultrazvočne črpalke z visoko zanesljivostjo in kompaktno velikostjo.

5. Storitve prilagajanja

Poleg standardnega nanosa na Si rezine nudimo tudi storitve nanosa po meri:

 ●Prilagajanje filma in debeline: nanašanje posebnih vrst filmov in debelin po meri v skladu z zahtevami načrtovanja.

 ●Livarna OEM: Sprejemanje rezin, dobavljenih od strank, za visokokakovostno piezoelektrično rast tankega filma.

 ●Podpora za substrat SOI: Specializirano nanašanje na SOI rezine z naslednjimi specifikacijami: