Čoln za rezine s CVD SiC prevleko visoke čistosti

1. Glavni dejavniki uspešnosti?

• Čistost na ravni 7N:Ohranjamo standard čistosti 99,99999 % (7N). O tem se ni mogoče pogajati zaradi preprečevanja prehoda kovinskih kontaminantov v rezino med dolgimi koraki vstavljanja ali oksidacije.
• Tesnilo CVD (50–300 μm):Ne "pobarvamo" samo površine. Naš sloj CVD SiC debeline 50–300 μm ustvari popolno tesnilo na substratu. To odpravlja poroznost, kar pomeni, da čoln ne bo ujel kemikalij ali izločal delcev tudi po večkratni izpostavljenosti reaktivnim plinom ali agresivnemu čiščenju SPM/DHF.
• Toplotna togost:Naravna nizka toplotna ekspanzija silicijevega karbida ohranja te čolne naravnost. Med hitrim toplotnim žarjenjem (RTA) se ne povesijo ali zvijejo, kar zagotavlja, da roka robota vedno zadene pravo režo brez zagozdenja.
• Trajni donosi:Površina je zasnovana za nizek oprijem stranskih produktov. Manj kopičenja pomeni manj delcev, ki zadenejo vaše rezine, in več potekov med cikli čiščenja mokre mize.
• Geometrija po meri:Vsaka tovarna ima svojo nastavitev. Te obdelamo po vaših specifičnih risbah nagiba in utora, ne glede na to, ali uporabljate vodoravno peč ali navpično 300 mm avtomatizirano linijo.

2. Združljivost procesov

• Vzdušje:Odporen na TMGa, AsH₃ in okolja z visoko koncentracijo O₂.
• Toplotno območje:Stabilno dolgotrajno delovanje do 1400°C.
• Materiali:Posebej zasnovan za procese oksidacije in difuzije logičnih, močnostnih in analognih rezin.