CVD sic prevleka lutka

Značilnosti izdelkov Veteksemi CVD sic prevleka lutke rezine:

● visoka temperaturna plina: Sic lutka ima odlično odpornost na visoko temperaturno erozijo plina, primerna za uporabo v ekstremnih pogojih. Ta odpornost zagotavlja dosledno delovanje tudi v najzahtevnejših okoljih.

● Dolgoročna strukturna celovitost: CVD sic prevleke lutke so zasnovane tako, da se v daljšem obdobju upirajo upogibanju in deformaciji. Njihova trajnost zagotavlja, da ostanejo zanesljivi pri večkratnih ciklih testiranja, kar zmanjšuje potrebo po pogosti zamenjavi.

● površina brez delcev: SIC lutke imajo enostavno čiščenje površino, ki zmanjšuje vprašanja delcev, kar je ključnega pomena za vzdrževanje okolja brez kontaminacije. Ta funkcija podpira kakovostne rezultate in zmanjšuje tveganje za napake.

● Kemična stabilnost: Kemična stabilnost lutke, prevlečene s sic, omogoča, da zdrži različne jedke snovi brez razgradnje. Ta značilnost je ključnega pomena za ohranjanje celovitosti rezin med kemično izpostavljenostjo.

Specifične uporabe CVD sic obloženih lutk rezin:

● vsestransko testiranje in eksperimentiranje: SIC, prevlečene z lutkami, so bistvene v vseh fazah proizvodnje polprevodnikov, kar zagotavlja varno in zanesljivo sredstvo za testiranje in eksperimentiranje. Na začetku proizvodnega procesa so bistvenega pomena in zagotavljajo, da so vsi parametri optimalni, preden se uporabljajo dragocene proizvodne rezine.

● Zaščita med difuzijo: Med postopkom difuzije igrajo lutke rezine ključno vlogo z zaščito standardnih silicijevih rezin. Ta zaščitna funkcija preprečuje poškodbe in kontaminacije, s čimer ohranja celovitost in kakovost prvotne rezine.

● Točnost merjenja: Te rezine se skrbno uporabljajo za merjenje debeline filma, tlačnega odpornosti in odsevnega indeksa. Pomagajo tudi pri odkrivanju prisotnosti fliperjev in ocenjujejo dimenzije vzorcev v litografiji, kar pomembno prispeva k natančnosti procesa in zmanjšanju napak.

Dejansko Vetek Semiconductor podpira prilagojene storitve izdelkov in lahko zagotovi uporabniško definirano serializacijo na vsaki CVD SIC na lutke z lutkami glede na potrebe strank, kar omogoča prilagojene velikost in debelino. Lasersko graviranje po meri še dodatno odpravlja tveganje za navzkrižno kontaminacijo, kar zagotavlja visoko stopnjo čistosti in zanesljivosti.

SEM podatki filma CVD SiC prevleka: