Grafitni deli s prevleko iz SiC-ja

V reakcijski komori Epitaksialne rastne peči SIC so polovični grafitni deli SIC prevleke ključne sestavne dele za optimizacijo porazdelitve pretoka plina, nadzor toplotnega polja in enotnost reakcijske atmosfere. Običajno so narejeni iz sic premazagrafit, zasnovan v obliki polmeseca, ki se nahaja v zgornjem in spodnjem grafitnem delu reakcijske komore, ki obdaja območje substrata.

    •Zgornja polovična grafitna del: Nameščeno v zgornjem delu reakcijske komore, v bližini dovoda plina, ki je odgovoren za vodenje reakcijskega plina, da teče proti površini podlage.

    •Spodnji polmesečni grafitni del: nahaja se na dnu reakcijske komore, običajno pod držalom substrata, uporablja se za nadzor smeri pretoka plina in optimizacijo toplotnega polja in porazdelitve plina na dnu substrata.

MedPostopek epitaksije SiC, zgornji grafitni del v obliki polmeseca pomaga usmerjati tok plina, da se enakomerno porazdeli po substratu, kar preprečuje, da bi plin neposredno vplival na površino substrata in povzročil lokalno pregrevanje ali turbulenco zračnega toka. Spodnji grafitni del v obliki polmeseca omogoča, da plin gladko teče skozi podlago in se nato izprazni, hkrati pa preprečuje, da bi turbulenca vplivala na enakomernost rasti epitaksialne plasti.

Glede na regulacijo toplotnega polja ， sic prevleka polovične mame grafitne dele pomaga enakomerno porazdeliti toploto v reakcijski komori skozi obliko in položaj. Zgornji grafitni del polovice lahko učinkovito odraža sevalno toploto grelnika, da se zagotovi, da je temperatura nad podlago stabilna. Tudi spodnji polmetni grafitni del ima podobno vlogo, saj pomaga enakomerno porazdeliti toploto pod podlago s toplotno prevodnostjo, da se prepreči prekomerne temperaturne razlike.

SIC prevleka naredi komponente, odporne na visoke temperature in toplotno prevodno, zato imajo polprevodniški deli Vetek Semicon dolgo življenjsko dobo. Skrbno zasnovan, lahko naših polmenskih grafitnih delov za Epitaxy SIC brez težav integriramo v številne epitaksialne reaktorje, kar pomaga izboljšati splošno učinkovitost in zanesljivost proizvodnje polprevodnikov. Ne glede na to, ne glede na to, ali potrebujejo deli grafitskih polovic sic, se obrnite na Vetek Semiconductor.

VeteksemTrgovine z grafitnimi deli za prevleko SiC: