Uporaba kremenčevih komponent v polprevodniški opremi

Izdelki iz kremenase pogosto uporabljajo v procesu izdelave polprevodnikov zaradi visoke čistosti, visokotemperaturne odpornosti in močne kemijske stabilnosti.

1. Quartz Crucible

Uporaba - Uporablja se za risanje monokristalnih silicijevih palic in je jedro potrošnega v proizvodnji silicijevih rezin.

Kremenčevi lončkiso izdelani iz kremenčevega peska z visoko čistostjo (ocena 4n8 in več), da se zmanjša kontaminacija zaradi nečistoč kovin. Morala bi imeti visokotemperaturno stabilnost (tališče> 1700 ° C) in nizek koeficient toplotne ekspanzije. Kremenčevi lončki v polprevodniškem polju se uporabljajo predvsem za izdelavo silicijevih enojnih kristalov. So potrošni kremenčevi posodi za nalaganje polikristalnih silicijevih surovin in jih je mogoče razdeliti na kvadratne in okrogle vrste. Kvadratni se uporabljajo za vlivanje polikristalnih silicijevih ingotov, okrogle pa se uporabljajo za risanje monokristalnih silicijevih palic. Zdrži visoke temperature in ohranja kemično stabilnost, kar zagotavlja čistost in kakovost silicijevih enojnih kristalov.

2. kremenčeve pečilne cevi

Kremenčeve cevise v polprevodniški industriji široko uporabljajo zaradi svojih značilnosti, kot je visokotemperaturna odpornost (dolgoročna delovna temperatura lahko doseže več kot 1100 ° C), kemična korozijska odpornost (stabilna, razen nekaj reagentov, kot je tkiloočna kislina), visoka čistkost (zlasti proti PPB-jem). Osrednji scenariji so koncentrirani v več ključnih procesnih povezavah proizvodnje rezin.

Glavne povezave za prijavo:difuzija, oksidacija, CVD (kemična odlaganje hlapov)

Namen:

• Difuzijska cev: Uporablja se v visokotemperaturnih difuzijskih procesih, nosi silicijeve rezine za doping.
• Cev za peč: podpira kremenčeve čolne v oksidacijski peči za visokotemperaturno oksidacijsko obdelavo.

Značilnosti:

Izpolnjuje se zahteve visoke čistosti (kovinski ion ≤1ppm) in visokotemperaturne deformacijske odpornosti (nad 1200 ° C).

3. kremen kristalni čoln

Odvisno od različne opreme je razdeljen na navpične in vodoravne vrste. Odvisno od različnih proizvodnih linij Fab je razpon velikosti 4 do 12 palcev. V proizvodnji polprevodniških IC -jev,kremenčevi kristalni čolnise uporabljajo predvsem v procesih prenosa, čiščenja in predelave rezin. Kot nosilci rezin, odpornih na visoko temperaturo in visoke temperature, igrajo nepogrešljivo vlogo. V postopku difuzije ali oksidacije cevi za peč se na kremenčeve kristalne čolne postavi več rezin in nato potisne v cev za peč za proizvodnjo šarže.

Injektorji v polprevodnikih se uporabljajo predvsem za natančno prevoz plinskih ali tekočih materialov in se uporabljajo v več ključnih procesnih povezavah, kot so nanašanje tankega filma, jedkanje in doping.

V procesu čiščenja silicijevega tranzistorja in integrirane proizvodnje vezja se uporablja za nošenje silicijevih rezin in mora biti odporen na kisline in alkalije, da se zagotovi, da silicijeve rezine med postopkom čiščenja niso onesnažene.

6. kremenčeve prirobnice, kremenčevi obroči, fokusni obroči itd.

Uporablja se v procesih polprevodniškega jedkanja v kombinaciji z drugimi kremenčevimi izdelki za dosego zapečatene zaščite votline, ki tesno obkroža rezino, preprečuje različne vrste kontaminacije med postopkom izdelave jedkanja in igra zaščitno vlogo.

Kozarci Quartz Bellso ključne komponente, ki se običajno uporabljajo v polprevodniški industriji, ki vsebujejo visokotemperaturno odpornost, korozijsko odpornost in visoko prepustnost svetlobe. Pokrivanje peči za zmanjšanje peči: Kremenski pokrov zvona se uporablja predvsem kot pokrov redukcije peči za polisilikon. Pri proizvodnji Polysilicona se triklorosilana z visoko čistostjo meša z vodikom v določenem deležu in nato vnesemo v redukcijsko peč, opremljeno s kremenotnim zvoncem, kjer se na prevodni silicijevi jedru zgodi redukcijska reakcija, da se odlaga in tvori polisilikon.

8. Krečavski mokro čistilni rezervoar

Faza uporabe: mokro čiščenje silicijevih rezin

Uporaba: Uporablja se za kislinsko pranje (HF, H₂SO₄ itd.) In ultrazvočno čiščenje.

Značilnosti: Močna kemična stabilnost in odpornost proti močni kislini koroziji.

9. Steklenico izdelave tekočine

Steklenica zbiranja tekočine se uporablja predvsem za zbiranje odpadne tekočine ali preostale tekočine v postopku mokrega čiščenja

Med postopkom mokrega čiščenja rezin (na primer čiščenje RCA, čiščenje SC1/SC2) je za izpiranje rezin potrebna velika količina ultrave vode ali reagentov, po izpiranju pa bo nastala preostala tekočina, ki vsebuje nečistoče v sledovih. Po nekaterih postopkih prevleke (na primer fotoresistični premaz) bodo na voljo tudi odvečne tekočine (na primer fotoresistična odpadna tekočina), ki jih je treba zbrati.

Funkcijske kremenčeve steklenice tekočine se uporabljajo za tesno zbiranje teh preostalih ali odpadnih tekočin, zlasti v "koraku z visoko natančnostjo" (na primer faza pred zdravljenjem površine rezine), kjer lahko preostala tekočina še vedno vsebuje majhno količino reagentov z visoko vrednostjo ali nečistoče, ki jih poznejšo analizo potrebujejo. Nizka kontaminacija kremenčevih steklenic lahko prepreči ponovno kontaminiranje preostale tekočine, kar olajša poznejše okrevanje (na primer čiščenje reagenta) ali natančno odkrivanje (na primer analiza vsebnosti nečistoče v preostali tekočini).

Poleg tega se v fotolitografiji uporabljajo kremenčeve maske iz sintetičnih kremenčevih materialov kot "negativnosti" fotolitografskih strojev za prenos vzorca. In kremenčevi kristalni oscilatorji, ki se uporabljajo pri nanašanju tankega filma (PVD, CVD, ALD) za spremljanje debeline tankega filma in zagotavljajo enotnost odlaganja med številnimi drugimi vidiki, v tem članku niso razviti.

Za zaključek so kremenčevi izdelki skoraj prisotni v celotnem procesu proizvodnje polprevodnikov, od rasti monokristalnega silicija (kremenčevega križišča) do fotolitografije (kremenčeve maske), jedkanja (kremenčeve obroče) in odlaganja tankih filmov (kvarčni kristalni oscilatorji), ki se nanašajo na svoje in kemične. Z evolucijo polprevodniških procesov se bodo zahteve za čistost, temperaturno odpornost in dimenzijska natančnost kremenčevih materialov še povečale.