Prevleka iz silicijevega karbida

VeTek Semiconductor je specializiran za proizvodnjo izdelkov iz ultra čistega silicijevega karbida, ti premazi so zasnovani za nanašanje na prečiščen grafit, keramiko in ognjevzdržne kovinske komponente.

Naši premazi visoke čistosti so namenjeni predvsem uporabi v polprevodniški in elektronski industriji. Služijo kot zaščitna plast za nosilce rezin, suceptorje in grelne elemente ter jih ščitijo pred jedkimi in reaktivnimi okolji, do katerih pride v procesih, kot sta MOCVD in EPI. Ti procesi so sestavni del obdelave rezin in izdelave naprav. Poleg tega so naši premazi zelo primerni za uporabo v vakuumskih pečeh in segrevanje vzorcev, kjer se srečujemo z visokim vakuumom, reaktivnim okoljem in okoljem s kisikom.

Pri VeTek Semiconductor ponujamo celovito rešitev z našimi naprednimi zmogljivostmi strojne delavnice. To nam omogoča izdelavo osnovnih komponent z uporabo grafita, keramike ali ognjevzdržnih kovin in lastno nanašanje keramičnih prevlek SiC ali TaC. Nudimo tudi storitve premazovanja delov, ki jih dobavljajo stranke, s čimer zagotavljamo prilagodljivost za izpolnjevanje različnih potreb.

Naši izdelki s premazom iz silicijevega karbida se pogosto uporabljajo v Si epitaksiji, SiC epitaksiji, sistemu MOCVD, procesu RTP/RTA, postopku jedkanja, postopku jedkanja ICP/PSS, procesu različnih vrst LED, vključno z modro in zeleno LED, UV LED in globokim UV LED itd., ki je prilagojen opremi LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI itd.

Deli reaktorja, ki jih lahko naredimo:

Prevleka iz silicijevega karbida ima več edinstvenih prednosti:

Silicon Carbide Coating several unique advantages

Parameter prevleke iz silicijevega karbida VeTek Semiconductor

Osnovne fizikalne lastnosti CVD SiC prevleke
Lastnina	Tipična vrednost
Kristalna struktura	FCC β faza polikristalna, pretežno (111) usmerjena
SiC prevleka Gostota	3,21 g/cm³
SiC prevleka Trdota	2500 Vickers trdota（500g obremenitev）
Velikost zrn	2~10 μm
Kemijska čistost	99,99995 %
Toplotna zmogljivost	640 J·kg^-1·K^-1
Temperatura sublimacije	2700 ℃
Upogibna trdnost	415 MPa RT 4-točkovno
Youngov modul	430 Gpa 4-točkovni upogib, 1300 ℃
Toplotna prevodnost	300 W·m^-1·K^-1
Toplotna ekspanzija (CTE)	4,5×10-6K^-1

CVD SIC FILMA KRISTALNA STRUKTURA

CVD SIC FILM CRYSTAL STRUCTURE

Epi suceptor, prevlečen s silicijevim karbidom SiC prevleka za rezine Satelitski pokrov s prevleko iz SiC za MOCVD CVD SiC Coating Wafer Epi Susceptor CVD SiC prevleka Grelni element Satelitski nosilec rezin Aixtron SiC Coating Epi sprejemnik SiC prevleka polmesečevih grafitnih delov

View as

Podpora MOCVD

MocVD obspešnik je značilen s planetarnim diskom in profesionalnim zaradi svoje stabilne zmogljivosti v epitaksiji. Vetek Semiconductor ima bogate izkušnje z obdelavo in KVB SiC prevleko tega izdelka, dobrodošli, da z nami komunicirajo o resničnih primerih.

Poglej več >> Pošlji povpraševanje >>

Predgrelni obroč

Obroč za predgretje se uporablja v postopku polprevodniške epitaksije za predgretje rezin in naredi temperaturo rezin bolj stabilno in enakomerno, kar je velikega pomena za visokokakovostno rast epitaksijskih plasti. Vetek Semiconductor strogo nadzoruje čistost tega izdelka, da prepreči izhlapevanje nečistoč pri visokih temperaturah. Vabljeni k nadaljnji razpravi z nami.

Poglej več >> Pošlji povpraševanje >>

Dvigalni zatič rezin

Vetek Semiconductor je vodilni proizvajalec in inovator za dvigalo EPI rezin na Kitajskem. Že vrsto let smo specializirani za sic prevleko na površini grafita. Za postopek EPI ponujamo dvižni zatič za EPI. Z visoko kakovostno in konkurenčno ceno vas pozdravljamo, da obiščete našo tovarno na Kitajskem.

Poglej več >> Pošlji povpraševanje >>

Sic prevlečen sod

Epitaksija je tehnika, ki se uporablja pri izdelavi polprevodniških naprav za gojenje novih kristalov na obstoječem čipu, da se naredi nova polprevodniška plast. VeTek Semiconductor ponuja obsežen nabor komponentnih rešitev za reakcijske komore za epitaksijo iz silicija LPE, ki zagotavljajo dolgo življenjsko dobo, stabilno kakovost in izboljšano epitaksialno donos plasti. Naš izdelek, kot je SiC Coated Barrel Susceptor, je prejel povratne informacije o položaju od strank. Nudimo tudi tehnično podporo za Si Epi, SiC Epi, MOCVD, UV-LED Epitaxy in še več. Povprašajte za informacije o cenah.

Poglej več >> Pošlji povpraševanje >>

Če sprejemnik EPI

Najboljša tovarna na Kitajskem - Vetek Semiconductor združuje natančno obdelavo in zmogljivosti prevlek SiC in TaC. Sodčasti Si Epi Susceptor zagotavlja zmožnosti nadzora temperature in atmosfere, kar povečuje učinkovitost proizvodnje v procesih epitaksialne rasti polprevodnikov. Veselimo se vzpostavitve sodelovanja z vami.

Poglej več >> Pošlji povpraševanje >>

Tako prevlečena šolnina EPI

Kot vrhunski domači proizvajalec silicijevega karbida in tantalumskih karbidnih premazov je Vetek Semiconductor sposoben zagotoviti natančno obdelavo in enakomerno prevleko obloge EPI, prevlečen s SiC, učinkovito nadzoruje čistost prevleke in izdelka pod 5ppm. Življenje izdelka je primerljivo z življenjem SGL. Dobrodošli, da nas pozanimate.

Poglej več >> Pošlji povpraševanje >>

Kot profesionalec Prevleka iz silicijevega karbida proizvajalec in dobavitelj na Kitajskem imamo svojo tovarno. Ne glede na to, ali potrebujete prilagojene storitve, da zadovoljijo posebne potrebe vaše regije ali želite kupiti napredne in trajne Prevleka iz silicijevega karbida, narejene na Kitajskem, nam lahko pustite sporočilo.

koda QR

O nas

Izdelki

Kontaktiraj nas

Telefon
+86-18069220752
faks
+86-579-87223657
E-naslov
anny@veteksemi.com
Naslov
Wangda Road, Ulica Ziyang, okrožje Wuyi, mesto Jinhua, provinca Zhejiang, Kitajska

Spletni meni

Iskanje izdelkov

Jezik

Izhod iz menija

Prevleka iz silicijevega karbida

Deli reaktorja, ki jih lahko naredimo:

Prevleka iz silicijevega karbida ima več edinstvenih prednosti:

Parameter prevleke iz silicijevega karbida VeTek Semiconductor

CVD SIC FILMA KRISTALNA STRUKTURA

Podpora MOCVD

Predgrelni obroč

Dvigalni zatič rezin

Sic prevlečen sod

Če sprejemnik EPI

Tako prevlečena šolnina EPI

Pošlji povpraševanje

koda QR

O nas

Izdelki

Kontaktiraj nas

Telefon

faks

E-naslov

Naslov