Izdelki

Prevleka iz silicijevega karbida

VeTek Semiconductor je specializiran za proizvodnjo izdelkov iz ultra čistega silicijevega karbida, ti premazi so zasnovani za nanašanje na prečiščen grafit, keramiko in ognjevzdržne kovinske komponente.


Naši premazi visoke čistosti so namenjeni predvsem uporabi v polprevodniški in elektronski industriji. Služijo kot zaščitna plast za nosilce rezin, suceptorje in grelne elemente ter jih ščitijo pred jedkimi in reaktivnimi okolji, do katerih pride v procesih, kot sta MOCVD in EPI. Ti procesi so sestavni del obdelave rezin in izdelave naprav. Poleg tega so naši premazi zelo primerni za uporabo v vakuumskih pečeh in segrevanje vzorcev, kjer se srečujemo z visokim vakuumom, reaktivnim okoljem in okoljem s kisikom.


Pri VeTek Semiconductor ponujamo celovito rešitev z našimi naprednimi zmogljivostmi strojne delavnice. To nam omogoča izdelavo osnovnih komponent z uporabo grafita, keramike ali ognjevzdržnih kovin in lastno nanašanje keramičnih prevlek SiC ali TaC. Nudimo tudi storitve premazovanja delov, ki jih dobavljajo stranke, s čimer zagotavljamo prilagodljivost za izpolnjevanje različnih potreb.


Naši izdelki s premazom iz silicijevega karbida se pogosto uporabljajo v Si epitaksiji, SiC epitaksiji, sistemu MOCVD, procesu RTP/RTA, postopku jedkanja, postopku jedkanja ICP/PSS, procesu različnih vrst LED, vključno z modro in zeleno LED, UV LED in globokim UV LED itd., ki je prilagojen opremi LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI itd.


Deli reaktorja, ki jih lahko naredimo:


Aixtron G5 MOCVD Susceptors


Prevleka iz silicijevega karbida ima več edinstvenih prednosti:

Silicon Carbide Coating several unique advantages



Parameter prevleke iz silicijevega karbida VeTek Semiconductor

Osnovne fizikalne lastnosti CVD SiC prevleke
Lastnina Tipična vrednost
Kristalna struktura FCC β faza polikristalna, pretežno (111) usmerjena
SiC prevleka Gostota 3,21 g/cm³
SiC prevleka Trdota 2500 Vickers trdota(500g obremenitev)
Velikost zrn 2~10 μm
Kemijska čistost 99,99995 %
Toplotna zmogljivost 640 J·kg-1·K-1
Temperatura sublimacije 2700 ℃
Upogibna trdnost 415 MPa RT 4-točkovno
Youngov modul 430 Gpa 4-točkovni upogib, 1300 ℃
Toplotna prevodnost 300 W·m-1·K-1
Toplotna ekspanzija (CTE) 4,5×10-6K-1

CVD SIC FILMA KRISTALNA STRUKTURA

CVD SIC FILM CRYSTAL STRUCTURE



View as  
 
Polprevodniški zabresni blok sic prevlečen

Polprevodniški zabresni blok sic prevlečen

Vetek Semiconductor's Semiconductor Block Block SIC Coated je zelo zanesljiva in trpežna naprava. Zasnovan je tako, da vzdrži visoke temperature in ostro kemična okolja, hkrati pa ohranja stabilno zmogljivost in dolgo življenjsko dobo. S svojimi odličnimi procesnimi zmogljivostmi polprevodniški zabresni blok SiC prevlečeno zmanjšuje pogostost zamenjave in vzdrževanja, s čimer izboljša učinkovitost proizvodnje. Veselimo se možnosti, da bomo sodelovali z vami.
Ultra čisti grafit spodnji pol min

Ultra čisti grafit spodnji pol min

Vetek Semiconductor je vodilni dobavitelj prilagojenega ultra čistega grafita spodnje polmese na Kitajskem, ki je več let specializiran za napredne materiale. Naša ultra čista grafitna spodnja polovica je zasnovana posebej za Epitaksialno opremo SIC, kar zagotavlja odlične zmogljivosti. Izdelana iz uvoznega uvoženega grafita, ponuja zanesljivost in trajnost. Obiščite našo tovarno na Kitajskem, da raziščete naš visokokakovosten ultra čisti grafit spodnji pol min iz prve roke.
Zgornja polovična del del sic prevlečena

Zgornja polovična del del sic prevlečena

Vetek Semiconductor je vodilni dobavitelj prilagojenega zgornjega polčasnega dela sic, prevlečenega na Kitajskem, ki je več kot 20 let specializiran za napredne materiale. Vetek polprevodniški zgornji polčas del sic prevlečen je posebej zasnovan za Epitaxial opremo SIC, ki služi kot ključna sestavina v reakcijski komori. Izdelana iz ultra-pure, polprevodniškega grafita, zagotavlja odlične zmogljivosti. Vabimo vas, da obiščete našo tovarno na Kitajskem.
Silicijev karbid Epitaxy Wafer Carrier

Silicijev karbid Epitaxy Wafer Carrier

Vetek Semiconductor je vodilni po meri silicijevega karbida Epitaxy Wafer Carrier na Kitajskem. Specializirani smo za napredni material več kot 20 let. Ponujamo silicijev karbidni nosilec epitaksije za nošenje sic substrata, rastoči sic epitaxy Layer v SIC Epitaxial Reactor. Ta nosilec epitaksi silicijevega karbida je pomemben del, prevlečen s SIC, visoka temperaturna odpornost, odpornost na oksidacijo, odpornost na obrabo. Pozdravljamo vas, da obiščete našo tovarno na Kitajskem.
Sic prevlečen z MOCVD -jem

Sic prevlečen z MOCVD -jem

Vetek Semiconductor's SIC, prevlečen z MOCVD, je naprava z odličnim postopkom, trajnostjo in zanesljivostjo. Zdržijo lahko visoko temperaturno in kemično okolje, ohranjajo stabilne zmogljivosti in dolgo življenjsko dobo, s čimer zmanjšajo pogostost zamenjave in vzdrževanja ter izboljšajo učinkovitost proizvodnje. Naš epitaksialni aparat MOCVD je znan po svoji visoki gostoti, odlični ravnini in odličnem termičnem nadzoru, zaradi česar je najprimernejša oprema v težkih proizvodnih okoljih. Veselim se sodelovanja z vami.
Sic prevlečen ICP jedkanica

Sic prevlečen ICP jedkanica

VETEKSMICON SIC prevlečen ICP jedkanica je zasnovana za najzahtevnejše aplikacije Epitaxy Oprema. Naš nosilci ICP jedkanic z ICP je izdelani iz kakovostnega grafitnega materiala z ultra napolnim grafitnim materialom zelo ravno površino in odlično korozijsko upornost, da med rokovanjem prenesejo močne razmere. Visoka toplotna prevodnost nosilca, prevlečenega s SIC, zagotavlja enakomerno porazdelitev toplote za odlične rezultate jedkanja.
Kot profesionalec Prevleka iz silicijevega karbida proizvajalec in dobavitelj na Kitajskem imamo svojo tovarno. Ne glede na to, ali potrebujete prilagojene storitve, da zadovoljijo posebne potrebe vaše regije ali želite kupiti napredne in trajne Prevleka iz silicijevega karbida, narejene na Kitajskem, nam lahko pustite sporočilo.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept