koda QR

Izdelki
Kontaktiraj nas
Telefon
faks
+86-579-87223657
E-naslov
Naslov
Wangda Road, Ulica Ziyang, okrožje Wuyi, mesto Jinhua, provinca Zhejiang, Kitajska
VeTek Semiconductor je specializiran za proizvodnjo izdelkov iz ultra čistega silicijevega karbida, ti premazi so zasnovani za nanašanje na prečiščen grafit, keramiko in ognjevzdržne kovinske komponente.
Naši premazi visoke čistosti so namenjeni predvsem uporabi v polprevodniški in elektronski industriji. Služijo kot zaščitna plast za nosilce rezin, suceptorje in grelne elemente ter jih ščitijo pred jedkimi in reaktivnimi okolji, do katerih pride v procesih, kot sta MOCVD in EPI. Ti procesi so sestavni del obdelave rezin in izdelave naprav. Poleg tega so naši premazi zelo primerni za uporabo v vakuumskih pečeh in segrevanje vzorcev, kjer se srečujemo z visokim vakuumom, reaktivnim okoljem in okoljem s kisikom.
Pri VeTek Semiconductor ponujamo celovito rešitev z našimi naprednimi zmogljivostmi strojne delavnice. To nam omogoča izdelavo osnovnih komponent z uporabo grafita, keramike ali ognjevzdržnih kovin in lastno nanašanje keramičnih prevlek SiC ali TaC. Nudimo tudi storitve premazovanja delov, ki jih dobavljajo stranke, s čimer zagotavljamo prilagodljivost za izpolnjevanje različnih potreb.
Naši izdelki s premazom iz silicijevega karbida se pogosto uporabljajo v Si epitaksiji, SiC epitaksiji, sistemu MOCVD, procesu RTP/RTA, postopku jedkanja, postopku jedkanja ICP/PSS, procesu različnih vrst LED, vključno z modro in zeleno LED, UV LED in globokim UV LED itd., ki je prilagojen opremi LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI itd.
Osnovne fizikalne lastnosti CVD SiC prevleke | |
Lastnina | Tipična vrednost |
Kristalna struktura | FCC β faza polikristalna, pretežno (111) usmerjena |
SiC prevleka Gostota | 3,21 g/cm³ |
SiC prevleka Trdota | 2500 Vickers trdota(500g obremenitev) |
Velikost zrn | 2~10 μm |
Kemijska čistost | 99,99995 % |
Toplotna zmogljivost | 640 J·kg-1·K-1 |
Temperatura sublimacije | 2700 ℃ |
Upogibna trdnost | 415 MPa RT 4-točkovno |
Youngov modul | 430 Gpa 4-točkovni upogib, 1300 ℃ |
Toplotna prevodnost | 300 W·m-1·K-1 |
Toplotna ekspanzija (CTE) | 4,5×10-6K-1 |
+86-579-87223657
Wangda Road, Ulica Ziyang, okrožje Wuyi, mesto Jinhua, provinca Zhejiang, Kitajska
Copyright © 2024 Vetek Semiconductor Technology Co., Ltd. Vse pravice pridržane.
Links | Sitemap | RSS | XML | Privacy Policy |