Porozni grafit, prevlečen s Tantalum karbidom

Porozni grafit, prevlečen s polprevodnikom Tantalum s karbidom, je postal kristal iz silicijevega karbida (sic) zaradi svoje super visoke temperaturne odpornosti (tališče okoli 3880 ° C), odlične toplotne stabilnosti, mehanske trdnosti in kemične inertnosti v visokih temperaturnih okoljih. Nepogrešljiv material v procesu rasti. Zlasti njegova porozna struktura zagotavlja številne tehnične prednosti zaproces rasti kristala. 

Sledi podrobna analizaPorozni grafit, prevlečen s tantalovim karbidomosrednja vloga:

● Izboljšajte učinkovitost pretoka plina in natančno nadzirajte procesne parametre

Mikroporozna struktura poroznega grafita lahko spodbudi enakomerno porazdelitev reakcijskih plinov (kot sta karbidni plin in dušik) in s tem optimizira atmosfero v reakcijski coni. Ta značilnost se lahko učinkovito izogne ​​lokalnemu akumulaciji plina ali turbulencah, zagotovi, da so kristali SIC enakomerno obremenjeni v celotnem procesu rasti, stopnja napake pa se močno zmanjša. Hkrati porozna struktura omogoča tudi natančno prilagajanje gradientov tlaka plina, nadaljnjo optimizacijo hitrosti rasti kristalov in izboljšanje konsistentnosti izdelkov.

●  Zmanjšajte kopičenje toplotne obremenitve in izboljšajte celovitost kristalov

Pri visokotemperaturnih operacijah elastične lastnosti poroznega tantalovega karbida (TaC) znatno ublažijo koncentracije toplotnih obremenitev, ki jih povzročajo temperaturne razlike. Ta sposobnost je še posebej pomembna pri gojenju kristalov SiC, saj zmanjšuje tveganje nastanka termičnih razpok, s čimer se izboljša celovitost kristalne strukture in stabilnost obdelave.

●  Optimizirajte porazdelitev toplote in izboljšajte učinkovitost porabe energije

Prevleka iz tantalovega karbida ne le daje poroznemu grafitu višjo toplotno prevodnost, ampak lahko njegove porozne značilnosti enakomerno porazdelijo toploto, kar zagotavlja zelo dosledno porazdelitev temperature v reakcijskem območju. To enotno upravljanje toplote je ključni pogoj za proizvodnjo kristalov SiC visoke čistosti. Prav tako lahko znatno izboljša učinkovitost ogrevanja, zmanjša porabo energije in naredi proizvodni proces bolj ekonomičen in učinkovit.

●  Izboljšajte korozijsko odpornost in podaljšajte življenjsko dobo komponent

Plini in stranski proizvodi v visokotemperaturnih okoljih (na primer parna faza vodika ali silicijevega karbida) lahko povzročijo močno korozijo materialov. Tac prevleka zagotavlja odlično kemično oviro za porozni grafit, kar znatno zmanjša hitrost korozije komponente in s tem podaljša življenjsko dobo. Poleg tega prevleka zagotavlja dolgoročno stabilnost porozne strukture in zagotavlja, da lastnosti transporta plina ne vplivajo.

●  Učinkovito blokira difuzijo nečistoč in zagotavlja kristalno čistost

Neprijetna grafitna matrika lahko sprosti sledi nečistoče, TAC prevleka pa deluje kot izolacijska ovira, da prepreči, da bi se te nečistoče v visokotemperaturnem okolju razpršile v kristal SIC. Ta zaščitni učinek je ključnega pomena za izboljšanje kristalne čistosti in pomoč pri izpolnjevanju strogih zahtev polprevodniške industrije za kakovostne materiale SIC.

VeTek polprevodniški porozni grafit, prevlečen s tantalovim karbidom, znatno izboljša učinkovitost postopka in kakovost kristalov z optimizacijo pretoka plina, zmanjšanjem toplotne obremenitve, izboljšanjem toplotne enakomernosti, izboljšanjem odpornosti proti koroziji in zaviranjem difuzije nečistoč med procesom rasti kristalov SiC. Uporaba tega materiala ne zagotavlja samo visoke natančnosti in čistosti v proizvodnji, ampak tudi močno zmanjša obratovalne stroške, zaradi česar je pomemben steber v sodobni proizvodnji polprevodnikov.

Še pomembneje je, da je VeTeksemi že dolgo zavezan zagotavljanju napredne tehnologije in proizvodnih rešitev za industrijo proizvodnje polprevodnikov in podpira prilagojene storitve izdelkov s poroznim grafitom, prevlečenim s tantalovim karbidom. Iskreno se veselimo, da bomo postali vaš dolgoročni partner na Kitajskem.

Fizikalne lastnosti prevleke iz tantalovega karbida

Vetek Semiconductor Tantalum karbid, prevlečene s poroznimi grafitnimi trgovinami