Postopek nalaganja kemičnih hlapov Trden sic robni obroč

CVD proces Trden sic rob obroč:

● Material: Fokusni obroč je izdelan iz trdnega sic, visoke čistosti in visokozmogljivega keramičnega materiala. Pripravimo ga s kemičnim odlaganjem hlapov. Trdni material SIC zagotavlja izjemno trajnost, visokotemperaturno odpornost in odlične mehanske lastnosti.

●  Prednosti: KVB SIC obroč ponuja izjemno toplotno stabilnost in ohranja svojo strukturno celovitost tudi v visokotemperaturnih pogojih, ki se srečujejo v procesih suhega jedkanja. Njegova visoka trdota zagotavlja odpornost na mehanski stres in obrabo, kar vodi do podaljšane življenjske dobe. Poleg tega ima trdni sic kemično inertnost, ki jo varuje pred korozijo in ohranja svoje zmogljivosti sčasoma.

CVD sic prevleka:

●  Material: CVD SiC prevleka je tanek filmski odlaganje sic z uporabo tehnik kemičnega odlaganja hlapov (CVD). Prevleka se nanese na substratni material, kot sta grafit ali silicij, da se na površini zagotovi lastnosti SIC.

●  Primerjava: Medtem ko CVD SiC prevleke ponujajo nekatere prednosti, kot so konformno nanašanje na zapletenih oblikah in nastavljive lastnosti filma, se morda ne ujemajo z robustnostjo in zmogljivostjo trdnega sic. Debelina prevleke, kristalna struktura in hrapavost površine se lahko razlikujejo glede na parametre procesa CVD, kar lahko vpliva na trajnost in splošno delovanje prevleke.

Če povzamemo, je Vetek Semiconductor Solid SIC fokusiran obroč izjemna izbira za uporabo na suhem jedrju. Njegov trdni material SIC zagotavlja visokotemperaturno odpornost, odlično trdoto in kemično inertnost, zaradi česar je zanesljiva in dolgotrajna rešitev. Medtem ko CVD SiC prevleka ponuja prilagodljivost pri odlaganju, se CVD SIC obroč odlikuje pri zagotavljanju neprimerne trajnosti in zmogljivosti, potrebnih za zahtevne procese suhega jedkanja.

Fizikalne lastnosti trdnega sic