Kaj je tac prevleka? - Vetek Semiconductor

TAC prevleka (Tantalum karbidni premaz) je visokozmogljiv material za prevleko, ki nastane s postopkom kemičnega odlaganja hlapov (CVD). Zaradi odličnih lastnosti prevleke TAC v ekstremnih pogojih se pogosto uporablja v procesu izdelave polprevodnikov, zlasti v opremi in sestavnih delih, ki zahtevajo visoko temperaturo in močno jedko okolje. Tac prevleka se običajno uporablja za zaščito substratov (kot sta grafit ali keramika) pred poškodbami z visoko temperaturo, jedko plini in mehansko obrabo.

Fizikalne lastnosti TAC prevleke

Funkcije izdelka in prednosti

● Izjemno visoka toplotna stabilnost:

Opis funkcije: Tac prevleka ima tališče več kot 3880 ° C in lahko ohrani stabilnost brez razpada ali deformacije v izjemno visokem temperaturnem okolju.

Prednost: Zaradi tega je nepogrešljiv material v visokotemperaturni polprevodniški opremi, kot sta CVD TAC prevleka in obloženec, prevlečen s TAC, zlasti za aplikacije v reaktorjih MOCVD, kot je oprema Aixtron G5.

● Odlična korozijska odpornost:

Opis značilnosti: TAC ima izjemno močno kemično inertnost in se lahko učinkovito upira eroziji korozivnih plinov, kot so kloridi in fluoridi.

Prednosti: V polprevodniških procesih, ki vključujejo zelo korozivne kemikalije, TAC prevleka ščiti komponente opreme pred kemičnimi napadi, podaljša življenjsko dobo storitve in izboljša stabilnost procesa, zlasti pri uporabi čolna silicijeve rezine in drugih ključnih komponent.

● Odlična mehanska trdota:

Opis značilnosti: Trdota TAC prevleke je do 9-10 MOH, zaradi česar je odporna na mehansko obrabo in visoko temperaturno napetost.

Prednost: Lastnost visoke trdote naredi TAC prevleka, ki je še posebej primerna za uporabo v okolju z visoko obrabo in visokim stresom, kar zagotavlja dolgoročno stabilnost in zanesljivost opreme v težkih pogojih.

● Nizka kemična reaktivnost:

Opis značilnosti: Tac prevleka zaradi svoje kemične inertnosti lahko ohrani nizko reaktivnost v visokotemperaturnih okoljih in se izogne ​​nepotrebnim kemičnim reakcijam z reaktivnimi plini.

Prednost: To je še posebej pomembno v procesu izdelave polprevodnikov, saj zagotavlja čistost procesnega okolja in kakovostno odlaganje materialov.

Vloga tac prevleke pri predelavi polprevodnikov

● Zaščita komponent ključne opreme:

Opis funkcije: TAC prevleka se pogosto uporablja v ključnih sestavnih delih opreme za proizvodnjo polprevodnikov, kot je obljubni obloga TAC, ki mora delovati v ekstremnih pogojih. S prevleko s TAC lahko te komponente delujejo dlje časa v visoki temperaturi in korozivnem plinskem okolju, ne da bi se poškodovali.

● Iz podaljšajte življenjsko dobo opreme:

Opis funkcije: V opremi MOCVD, kot je Aixtron G5, lahko TAC prevleka znatno izboljša trajnost komponent opreme in zmanjša potrebo po vzdrževanju in zamenjavi opreme zaradi korozije in obrabe.

● Izboljšajte stabilnost procesa:

Opis funkcije: V proizvodnji polprevodnikov TAC prevleka zagotavlja enakomernost in doslednost postopka odlaganja z zagotavljanjem stabilnega visokega temperaturnega in kemičnega okolja. To je še posebej pomembno v procesih epitaksialne rasti, kot sta silicijeva epitaksija in galijev nitrid (GAN).

● Izboljšajte učinkovitost procesa:

Opis funkcije: Z optimizacijo prevleke na površini opreme lahko TAC prevleka izboljša celotno učinkovitost postopka, zmanjša hitrost napake in poveča donos izdelka. To je ključnega pomena za proizvodnjo visoko natančnih polprevodniških materialov z visoko čistostjo.

Visoka toplotna stabilnost, odlična korozijska odpornost, mehanska trdota in nizka kemična reaktivnost, ki jo kažejo TAC prevleka med predelavo polprevodnikov, so idealna izbira za zaščito komponent opreme za polprevodniško proizvodnjo. Ker se povpraševanje po polprevodniških industrijah po visoki temperaturi, visoki čistosti in učinkoviti proizvodni procesi še naprej povečujejo, ima TAC prevleka široke možnosti uporabe, zlasti v opremi in procesih, ki vključujejo KVB TAC prevleko, obloge s TAC prevleko in Aixtron G5.

Vetek Semiconductor Technology Co., Ltd je vodilni ponudnik naprednih materialov za prevleke za industrijo polprevodnikov. Naše podjetje se osredotoča na razvoj vrhunskih rešitev za industrijo.

Naša glavna ponudba izdelkov vključujejoKVB silicijev karbide (sic), prevleke Tantalum karbide (TAC), razsuti sic, sic v prahu in materiali za visoko čisto čistost, obloženi z grafitom, prevlečenim s sic, predgret obroče, preusmeritveni obroč s TAC, deli pol min itd., Čistost je pod 5ppm, lahko izpolnjujejo zahteve kupcev.

Vetek Semiconductor se osredotoča na razvoj vrhunske tehnologije in rešitev za razvoj izdelkov za polprevodniško industrijo.Iskreno upamo, da bomo postali vaš dolgoročni partner na Kitajskem.