Novice

Kristalne peči iz silicijevega karbida (SIC) imajo ključno vlogo pri proizvodnji visokozmogljivih sic rezin za polprevodniške naprave nove generacije. Vendar pa proces gojenja kakovostnih kristalov SIC predstavlja pomembne izzive. Od upravljanja ekstremnih toplotnih gradientov do zmanjšanja kristalnih napak, zagotavljanja enakomerne rasti in nadzora stroškov proizvodnje, vsak korak zahteva napredne inženirske rešitve. Ta članek bo analiziral tehnične izzive peči SIC kristalnih rasti iz več perspektiv.

Smart Cut je napreden polprevodniški proizvodni postopek, ki temelji na ionski implantaciji in odstranjevanju rezin, posebej zasnovanih za proizvodnjo ultra tankih in zelo enotnih rezin 3C-SIC (kubični silicijev karbid). Lahko prenese ultra tanke kristalne materiale iz enega substrata na drugega in s tem prekine prvotne fizične omejitve in spreminja celotno industrijo substrata.

Pri pripravi visokokakovostnih in visoko donosne podlage silicijevega karbida jedro zahteva natančen nadzor nad temperaturo proizvodnje z dobrimi materiali termičnega polja. Trenutno so v glavnem uporabljeni kompleti za termično poljsko lonček strukturne komponente z visoko čisto čistostjo, katerih funkcije so ogrevanje staljenega ogljikovega prahu in silicijevega prahu ter za vzdrževanje toplote.

Ko boste videli polprevodnike tretje generacije, se boste zagotovo spraševali, kakšna sta bila prva in druga generacija. "Generacija" je tukaj razvrščena na podlagi materialov, ki se uporabljajo v proizvodnji polprevodnikov.

Elektrostatični chuck (ESC), znan tudi kot elektrostatični chuck (ESC, E-Chuck), je vgradnja, ki uporablja načelo elektrostatične adsorpcije za držanje in pritrditev adsorbiranega materiala. Primerno je za vakuumsko in plazemsko okolje.

Nosilci sic rezin, kot ključni potrošni material v industrijski verigi polprevodnikov tretje generacije, njihove tehnične značilnosti neposredno vplivajo na donos epitaksialne rasti in proizvodnje naprav. Z naraščajočim povpraševanjem po visokonapetostnih in visokotemperaturnih napravah v panogah, kot so 5G bazne postaje in nova energetska vozila, se raziskave in uporaba nosilcev sic rezin zdaj soočajo z pomembnimi razvojnimi priložnostimi.