Novice

V polprevodniških visokotemperaturnih procesih so ravnanje, podpora in toplotna obdelava rezin odvisni od posebne podporne komponente – čolna za rezine. Ko se procesne temperature dvignejo in se povečajo zahteve glede čistoče in delcev, tradicionalni čolni iz kremenčevih rezin postopoma razkrivajo težave, kot so kratka življenjska doba, visoke stopnje deformacij in slaba odpornost proti koroziji.

Pri proizvodnji substratov iz silicijevega karbida v industrijskem obsegu uspeh ene same rasti ni končni cilj. Pravi izziv je zagotoviti, da kristali, pridelani v različnih serijah, orodjih in časovnih obdobjih, ohranijo visoko raven doslednosti in ponovljivosti kakovosti. V tem kontekstu vloga prevleke iz tantalovega karbida (TaC) presega osnovno zaščito – postane ključni dejavnik pri stabilizaciji procesnega okna in varovanju izkoristka izdelka.

​Rast silicijevega karbida (SiC) PVT vključuje hudo toplotno kroženje (sobna temperatura nad 2200 ℃). Ogromen toplotni stres, ki nastane med prevleko in grafitno podlago zaradi neusklajenosti koeficientov toplotnega raztezanja (CTE), je glavni izziv, ki določa življenjsko dobo prevleke in zanesljivost nanosa.

V procesu rasti kristalov silicijevega karbida (SiC) PVT stabilnost in enakomernost toplotnega polja neposredno določata hitrost rasti kristalov, gostoto napak in enotnost materiala. Kot meja sistema imajo komponente toplotnega polja površinske termofizične lastnosti, katerih rahla nihanja se dramatično povečajo v pogojih visoke temperature, kar na koncu vodi do nestabilnosti na vmesniku rasti.

V procesu gojenja kristalov silicijevega karbida (SiC) z metodo fizičnega hlapnega transporta (PVT) je ekstremno visoka temperatura 2000–2500 °C "dvorezen meč" - medtem ko poganja sublimacijo in transport izvornih materialov, hkrati dramatično poveča sproščanje nečistoč iz vseh materialov v sistemu termičnega polja, zlasti kovinskih elementov v sledovih, ki jih vsebuje običajni grafit. komponente vroče cone. Ko te nečistoče vstopijo v rastni vmesnik, bodo neposredno poškodovale kakovost jedra kristala. To je temeljni razlog, zakaj so prevleke iz tantalovega karbida (TaC) postale »obvezna možnost« in ne »izbirna izbira« za rast kristalov PVT.

Pri Veteksemiconu se dnevno spopadamo s temi izzivi in ​​smo specializirani za preoblikovanje napredne keramike iz aluminijevega oksida v rešitve, ki izpolnjujejo natančne specifikacije. Razumevanje pravih metod obdelave in obdelave je ključnega pomena, saj lahko napačen pristop povzroči drage odpadke in okvaro komponent. Raziščimo profesionalne tehnike, ki to omogočajo.