Novice

Porozni karbid Vetek Semiconductor, kot nova generacija materiala za kristalno rast SiC, ima veliko odličnih lastnosti izdelkov in ima ključno vlogo pri različnih tehnologijah za polprevodniško obdelavo.

Načelo delovanja epitaksialne peči je nanašanje polprevodniških materialov na podlago pri visoki temperaturi in visokem tlaku. Epitaksialna rast silicija je gojenje plasti kristala z enako orientacijo kristala kot substrat in različno debelino na substratu monokristala silicija z določeno orientacijo kristala. Ta članek predstavlja predvsem metode epitaksialne rasti silicija: epitaksija v parni fazi in epitaksija v tekoči fazi.

Kemično odlaganje hlapov (CVD) v proizvodnji polprevodnikov se uporablja za odlaganje tankih filmskih materialov v komori, vključno s siO2, SIN itd., Običajno uporabljene vrste pa vključujejo PECVD in LPCVD. S prilagajanjem temperature, tlačnega in reakcijskega plina CVD dosega visoko čistost, enakomernost in dobro pokritost filma, da ustreza različnim zahtevam procesa.