Novice

Ta članek v glavnem opisuje široke možnosti uporabe keramike iz silicijevega karbida. Osredotoča se tudi na analizo vzrokov za sintranje razpok v keramiki iz silicijevega karbida in ustrezne rešitve.

Tehnologija jedkanja v proizvodnji polprevodnikov se pogosto srečuje s težavami, kot so učinek obremenitve, učinek mikroutorov in učinek polnjenja, ki vplivajo na kakovost izdelka. Rešitve za izboljšanje vključujejo optimizacijo gostote plazme, prilagajanje sestave reakcijskega plina, izboljšanje učinkovitosti vakuumskega sistema, načrtovanje razumne postavitve litografije in izbiro ustreznih materialov maske za jedkanje in pogojev postopka.