Undertaker z enim rezino EPI Graphite

Opis:

Enojna plošča EPI Graphite Asceptor vključuje niz grafitnega pladnja, grafitni obroč in druge dodatke z uporabo visoke čistosti grafitne substrata + nalaganje hlapov silicijev karbid kompozitna struktura ob upoštevanju visoke temperaturne stabilnosti, kemične vztrajnosti in enakomernosti termičnega polja. Je osrednji sestavni del epitaksialnega lista z visoko natančnostjo pri množični proizvodnji.

Materialna inovacija: grafit +sic prevleka

Grafit

● Ultra visoka toplotna prevodnost (> 130 w/m · k), hiter odziv na zahteve za nadzor temperature, da se zagotovi stabilnost procesa.

● Koeficient nizke toplotne ekspanzije (CTE: 4,6 × 10⁻⁶/° C), zmanjšati visoko temperaturno deformacijo, podaljšanje življenjske dobe.

CVD sic prevleka

● Korozijska odpornost. Upirajte napade z reakcijskimi plini, kot so H₂, HCl in SIH₄. Izogiba se kontaminaciji epitaksialne plasti z hlapnostjo osnovnega materiala.

● Površinsko zgoščevanje: Poroznost prevleke je manjša od 0,1%, kar preprečuje stik med grafitom in rezino in preprečuje difuzijo nečistoč ogljika.

● Visoka temperaturna toleranca: Dolgoročno stabilno delo v okolju nad 1600 ° C, prilagodi se visoki temperaturi povpraševanja po Epitaksi SIC.

Optimizacijska zasnova toplotnega polja in pretoka

Enotna struktura toplotnega sevanja

Površina suspeštorja je zasnovana z več termičnimi refleksnimi utori, sistem toplotnega polja ASM naprave ASM pa doseže enakomernost temperature znotraj ± 1,5 ° C (6-palčna rezina, 8-palčna rezina), kar zagotavlja konsistenco in enakomernost debeline epitaksialne plasti (nihanje <3%).

Tehnika zračnega krmiljenja

Odlične luknje in nagnjeni podporni stolpci so zasnovani tako, da optimizirajo laminarno porazdelitev reakcijskega plina na površini rezin, zmanjšajo razliko v hitrosti nanašanja, ki jo povzročajo vrtinčni tokovi, in izboljšajo enotnost dopinga.